超純水的製備工藝 一
傳統的純水方法不能製備出超純水，化學意義上純水（液態的H2O）的理論電導率為18.3Μ?·cm。人們生產的純水是達不道理論值的，但18Μ?·cm似乎是可以達到的，對於這種水，有的稱為高純水有的稱為超純水。現在製備超純水的方法是將各種純化水的新技術科學地結合起來，不僅能生產超純水，而且變得非常容易。
微孔深層過濾
對顆粒的通過設置了物理屏障，並根據過濾微細顆粒的大小分級，由纏繞纖維或壓緊的物質形成多孔矩陣，通過吸附或捕捉方式截留顆粒。深層過濾器（一般為1-50μm）通常作為一種經濟的純化方式用於截留大量的懸浮固體，並保護下游的純化設備不被污染和堵塞。它們需要定期更換。
活性炭吸附
活性炭通常用於預處理系統以去除進水中的氯和氯胺，防止它們破壞過濾膜和離子交換樹脂。用於水處理的活性炭通常孔徑範圍在500-1000nm之間，每克比表面積大約1000m2，通常是顆粒狀壓縮成型的，並裝填於純化柱中以防止產生太過微細顆粒污染下游。
活性炭的巨大表面和海量微孔以及吸附的物質，成為微生物的繁殖地。微生物的生長可以通過添加非溶解性生物殺滅劑到炭中，如銀，得到部分抑制。活性炭柱需要定期更換以保持最少的細菌含量。
反滲透（RO）
反滲透膜通常用於濾除直徑小於1nm的污染物，典型的反滲透方式可以濾掉水中90％的離子污染物，大部分有機物和幾乎全部微粒污染物。反滲透對分子量300道爾頓分子量的分子和包括膠體及微生物在內的顆粒，溶解的氣體則無法靠RO膜去除。
由於其出色的純化功效，反滲透是一項對去除絕大部分雜質非常具成本效益的技術。不過，其產水速度相對較低，所以使用時通常配以儲水箱暫存產成水以備使用或進一步純化。反滲透裝置保護後續系統免收膠體和有機物的堵塞或污染，其後續系統通常配備離子交換或電滲析裝置。
離子交換
離子交換樹脂床能通過與H+和OH-的離子交換，從水中有效去除離子。離子交換樹脂是直徑小於1mm的多孔小球，由交鏈的含有大量功能強大的離子交換點的不溶性聚合物製成。水中的離子依據它們的相對電荷密度競爭離子交換樹脂的交換點而被樹脂吸附。樹脂分為陽離子樹脂和陰離子樹脂兩種。
離子交換樹脂床放在小型濾柱或大型濾筒中使用，一般使用一段時間後就要更換，此時陰陽離子交換基團已經替換了樹脂中大部分H+和OH-的活性點。通過將RO膜設置在離子交換之前的方式，可得到更純的水質並延長填料的使用壽命，該方法經常用於生產高純度超純水的實驗室純水系統中。這種方法也可避免離子交換樹脂表面被大的有機物分子堵塞，從而降低其交換能力。
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