國內唯一的超純高阻硅X光探測器實驗室將落戶高新區

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李正，湘潭大學「千人計劃」特聘教授，歐洲核子研究委員會合作中心發言人。曾就職於美國布魯克海文國家實驗室，並於2005年獲BNL science and Technology獎。 2012年獲得IEEE技術創新獎（該獎在同一領域每年只獎勵一個人，李正是第6位獲此殊榮的大陸華人科學家）。

李正教授是半導體探測器及其抗輻照加固、納米複合材料塗層及聚合物納米複合材料的力學行為模型方面的著名專家。在大面積、低漏電流硅探測器，3D結構探測器，雜質工程對硅探測器的輻射加固，輻射缺陷誘導退化機理等方面做出傑出貢獻，他研製的探測器在世界各大加速器、美國航天器上都得到了廣泛應用。

李正教授接受記者採訪

記者：李正教授，您好。作為高端硅探測器研發領域的先行者，您在國內國際享有盛譽。落戶湘潭高新區，創辦湖南正芯微電子探測器有限公司，是出於何種考慮？

李正：我是一個地道的湘潭人，生於斯長於斯。後來，我去美國讀書、工作。過去十幾年，我每年都會回中國一趟，跟中國科學院半導體所和高能物理研究所、清華大學等院校開展合作交流。1997年，通過市僑聯牽線搭橋，我與湘潭大學建立了長期的合作關係。

2014年，加入國家「千人計劃」後，中國科學院高能物理研究所和清華大學都邀請我去北京。然而，作為湘潭人，我對毛主席、對湘潭、對湘江的情結是不可言喻的。最終，我選擇回到湘潭。

湖南正芯微電子探測器研發產品圖片

由於湘潭市政府和湘潭高新區管委會對科技和人才的重視，我們在高新區創辦了湖南正芯微電子探測器有限公司，將建成國內唯一的超純高阻硅X光探測器實驗室。

記者：歡迎您回家，與我們共飲湘江水。請問，您方便為我們介紹一下實驗室的建設情況嗎？

李正：目前，超純高阻硅X光探測器實驗室的裝修已基本完成，主要設備氧化爐、光刻機等正在安裝中，預計一個禮拜之後能夠投入運行。10月10日，公司將會舉辦一個揭牌儀式，之後可以開展探測器的製作。

你們剛剛看到的氧化爐，主要用於矽片的氧化，分為控制部分和爐身部分。矽片的氧化需要在高度潔凈的環境下進行，不能有任何污染，這是非常關鍵的步驟。之後，我們要利用光刻機，經過7道光刻，把設計好的圖形刻在矽片上，這是非常精細的工藝程序。

做出一個探測器，總共有一兩百道工藝步驟，周期需要一、兩個月。操作的工作人員必須穿全遮蓋的防護服，保證工作環境不受污染。

「十三五」期間，我希望具有獨立設計和知識產權的探測器能夠實現產業化，打破國際封鎖，填補科技空白，滿足國家的科研需求。甚至說，我們要領先國際。

記者：據我們所知，超純高阻硅X光探測器處於國外壟斷技術的局面，國內還沒有研製這種探測器的企業，您這裡是第一家。那麼，項目的市場應用主要是面向何方？

李正：我們做的粒子、光子探測器，實際上是以超純高阻硅作為本底製作的微電子器件，用於測量高能粒子、基本粒子、光子的存在、位置、能量。

在高能物理實驗、航空航天、醫療、國防等方面，都需要這種探測器。比如說，在高能物理實驗中涉及的大型對撞機，存在粒子碰撞，我們的探測器能測量粒子的能量軌跡和新粒子的產生，這是國家層面的重大需求。

在航天方面，脈衝星導航正處於科技前沿。我們用探測器測量從脈衝星發射的X光，作為脈衝星導航。醫療方面，X光成像也需要運用到探測器。農業方面，X光探測器可用於探測大米里的鎘元素。

目前，國內民用方面的探測器都是進口的，價格昂貴。而我們製作的探測器，擁有價格和質量的雙重優勢，完全可以取代進口產品，還可以推向國際市場。

記者：作為園區的科技領軍人物之一，您認為，高新區要打造好院士創新產業園，還應從哪些方面發力？

李正：高新區需要體現高科技。探測器是一個系統，我們做的是核心晶元，是微電子的一部分。當前的國家戰略提到，要實現微電子晶元的國產化，這是一條龐大的產業鏈。假如從我們這裡起步，能吸引微電子的晶元工藝線進來，打造高科技產業園是可行的。

我建議引進更多的好項目，以核心技術帶動產業鏈的發展，從而帶動高新區的經濟發展。此外，高新區要爭取挖掘並引進更多優秀的科研人才，並實行配套的人才政策。

（湘潭晚報記者 丁玉潔 實習生 歐陽冰怡）