光電所獲取大角度衍射光學元件批量化製備新方法

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中國科學院光電技術研究所微電子裝備總體研究室微光學組在大角度衍射光學元件批量化製備方法研究中取得新進展：提出了一種基於納米壓印技術的大角度衍射光學元件批量化低成本製備新方法。由於納米壓印模板可以多次重複使用，平均成本降低，能夠實現從微米到納米跨尺度兼容的衍射光學元件的低成本、批量化製備。相關結果發表於近期的Acta Photonica Sinica。

衍射光學元件由於體積小、設計靈活、衍射效率高等優點，被廣泛應用於光學感測、光通訊、光計算、醫學、數據存儲和消費娛樂等領域。目前在一些前沿性的研究領域，如激光雷達中的廣角三維地形地貌探測、三維測量等，迫切需要具有大角度（大於50°）的衍射光學元件。現有的加工衍射光學元件的技術有很多種，但成本高、加工周期長，難以實現批量化生產。因此，研究衍射光學元件的低成本、批量化製備方法具有重要意義。

該研究將納米壓印技術應用於衍射元件的加工當中，壓印母板在無損傷的前提下可以無限次重複使用，即一塊壓印模板可以在短時間內壓印製備出多個衍射元件，大大降低了製備成本，提高了生產效率。基於納米壓印技術的高精度、高解析度、低成本、高產量等優點，以及改進的脫模防粘、對準壓印技術，實現了大角度、高深寬比衍射光學元件高保真、低成本、批量化製作的目的。

該工作得到了國家自然科學基金的支持。

光電所獲取大角度衍射光學元件批量化製備新方法

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