激光擊毀目標有兩個方面：一是穿孔，二是層裂
所謂層裂，就是靶材表面吸收激光能量後，原子被電離，形成等離體「雲」。
「雲」向外膨脹噴射形成應力波向深處傳播。
應力波的反射造成靶材被拉斷，形成「層裂」破壞。除此以外，等離子體「雲」還能輻射紫外線或X光，破壞目標結構和電子元件。
熱破壞。當目標受到強激光照射後，表面材料吸收熱量而被加熱，產生軟化、熔化、氣化直至電離，當目標材料深層溫度高於表面溫度使氣化加快時，內部壓力增高產生爆炸。
力學破壞。當被激光照射物體產生氣化、電離形成的等離子體高速向外噴射，形成的反衝力會使目標變形斷裂。
輻射破壞。等離子體能夠輻射紫外線或X射線，破壞目標內部的電子元器件
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