2017年微納米加工技術講習班等你來參加！

微納加工領域最受歡迎的專業培訓課「微納米加工技術講習班」開始報名了！

講習班時間：7月10--14日。

報名參加微納米加工技術講習班的學員，全程免費，提供午餐，還可以領取講習班課程配套的書籍喲。報名學員有機會進入實驗室現場參觀微納加工設備操作演示。

微納米加工技術講習班由物理所微加工實驗室於2005年開始舉辦，旨在系統介紹微納米加工技術的基礎、應用和最新前沿進展，目前已成功舉辦8次，累計參加人數3000餘人，均來自全國各高校、科研院所和高科技公司。

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報名人員僅限從事微納米技術研究的科技人員，高校研究生與高年級本科生。

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中科院物理所微加工實驗室

中科院物理所微加工實驗室於2003年開始運行，2008 年成為科學院「納米材料與納米結構加工平台」，2009 年加入「中科院所級公共技術服務中心」和2010 年成為「基金委納米製造重大研究計劃聯合實驗室」，目前微加工實驗室已發展成為面向國內外的技術服務平台，為國內微納加工技術和人才的交流提供了一個舞台。

微加工實驗室現有固定人員10人，其中正高級職稱3人，副高級職稱3人，中級職稱4人，在讀研究生共12人，是一支以青年人為主的富有活力的專業技術創新團隊。

微加工實驗室承擔國家科技部、基金委、科學院的重大、重點及一般科研項目30餘項，合作發表SCI論文200餘篇，獲國家授權發明專利20餘項，2015年納米級長度標準樣品獲國家一級標準物質認證，2015年獲北京市科學技術二等獎。

微加工實驗室擁有包含萬級、千級和百級的近1000 平米超凈實驗室，主要裝備有曝光、刻蝕、沉積、表徵、測量及相關輔助設備60餘台，微納加工能力涵蓋從微米到亞納米，從零維到三維。

聚焦離子束刻蝕與沉積系統2台（FIB）

電子束曝光系統2台（EBL）

紫外光刻系統2台（UL）

微加工實驗室研究方向

微納人工結構的加工方法與工藝研究

微納人工結構的新奇物性研究

微納人工結構的器件與集成應用研究

特色工作1

提出了利用聚焦離子束操控在懸空納米薄膜上實現三維微納結構摺疊加工的方法，推動了三維超材料結構的加工、設計及其在紅外-可見波段的光學調控、光學探測、主動控制等領域的探索與應用。研究結果發表在Advanced Materials，29(2017) 1606298.

特色工作2

利用原位檢測納米材料本徵物性的方法，首次發現多壁碳管的多通道彈道輸運特性和高電流承載能力，證明了多壁碳納米管有望成為納電子器件及集成電路的下一代互聯導線。研究成果作為Cover story發表在Physics Review Letters, 95（2005）086601.

特色工作3

發展了納米結構中磁疇壁動力學研究的實驗手段和納米器件構築方法，發現了點接觸寬度與磁疇壁釘扎的動力學規律，首次構築出利用電驅動和電檢測的納米磁邏輯電路，實現了與傳統的CMOS技術兼容。研究結果發表在Nature Nanotechnology, 3(2008)97.

更多信息請關注實驗室主頁

編輯：yangfz

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