出人意料：荷蘭ASML將向中國大陸一家晶元製造商供應EUV光刻機！
中國（大陸）晶元製造產業當前面臨多個技術難點，其中之一就是，中國幾家主要晶元製造商今後都必須在自家晶圓工廠中安裝高端EUV光刻機（極紫外光刻機），方能生產出更高端晶元。然而，目前，在全球，僅有荷蘭ASML（阿斯麥）能夠為所有晶元製造商研製EUV光刻機。
此前，台媒《天下雜誌》記者曾經專訪過ASML執行長皮特·瓦希德（Peter Wennink）。並且，皮特·瓦希德回答了記者這麼兩個問題。
記者向皮特·瓦希德所提問題之一是：「ASML出自飛利浦，而當年的飛利浦是有名的高度垂直整合，樣樣自己做，你們為何會走出開放式創新的研發模式？」皮特·瓦希德向記者給出答案，簡單來說就是：1984年，荷蘭飛利浦當時面臨經營困境，不得已在集團內部實施大規模裁員方案。ASML也是在那一年從飛利浦獨立了出來。起初，ASML其實非常缺乏技術研發經費，而飛利浦本就自顧不暇，沒有能力向ASML提供技術研發經費。ASML要在惡劣市場環境里生存下來，就想到一個好辦法，那就是ASML在歐洲甚至全球範圍內，主動去找到更多組織機構並與之建立合作關係，從而為自身構建起一個大型技術研發網路。皮特·瓦希德向記者說道：「我們去找政府爭取經費，還去找供應商，告訴他們我們的構想是什麼，並問他們和我們在技術研發上展開合作好嗎？我們一同分享利潤。我們因此打造一個很大的研發網路。」
記者向皮特·瓦希德所提問題之二是：「飛利浦雖然已解體，但卻孕育出ASML，請問荷蘭是怎麼做到的，可以給面臨後PC時代的台灣一些建議嗎？」皮特·瓦希德向記者說出這樣一句話：「當初飛利浦樣樣都干，最後還是解體了，這證明大型企業巨人的時代已經不合適宜了。未來的主流該是企業、研究機構分工的開放式創新。」按皮特·瓦希德所持一大觀點，一個國家科技產業是否強大，最終能發展到何等強大程度，首先得看這個國家當局肯在基礎科研方面投入多大資源。而一家科技公司要想在區域或者全球市場中取得輝煌成功，除了要和一流人才一路同行外，還應該堅持在某個行業專註技術研發和創新。
言歸正傳，日前，台媒《電子時報》記者首次專訪了ASML中國區總裁金泳璇（Young-Sun Kim）。金泳璇向記者表示：一方面，中國半導體生產設備市場規模將在未來幾年迎來大發展，2018-2019年更是有望呈現跳躍式增長，ASML也將深耕中國市場，還將和中國某些科研機構在技術研發方面開展深度合作。另一方面，ASML對全球各大晶元製造商皆「一視同仁」，只要有一家中國晶元製造商向ASML成功下單EUV光刻機，ASML就能夠為這家中國晶元製造商生產出1台甚至多台EUV光刻機。況且，現在已經有家中國晶元製造巨頭在和ASML洽談首台EUV光刻機訂單（7nm製程工藝）。「如果最終訂單確認，最快預期2019年EUV會首次移入中國晶圓廠，我們對在中國客戶裝入中國第一台EUV光刻機，抱持樂觀的期待」。
下文為金泳璇和《電子時報》記者對話原文。
問：針對國內市場 、客戶，各方現在傳出許多聲音，聽說國內晶圓廠都預定不到EUV光刻機 「有錢難買EUV」？ 請問受到產量的限制，還是相傳受到國際條約的外在制約？
答：首先，我必須澄清這絕非事實。中國本地的晶圓廠與所有國際客戶的要求，從ASML而言都是一視同仁的，只要是確認訂單，EUV要進口到中國完全沒有任何問題。由於EUV零組件多達5萬多個部件，從客戶下單到正式交貨，交期約21個月，這個情況，對每個客戶都是完全一致的。
事實上，國內客戶已進入7納米工藝製程技術研發階段，並且與ASML展開EUV的商談。如果最終訂單確認，最快預期2019年EUV會首次移入中國晶圓廠，我們對在中國客戶裝入中國第一台EUV光刻機，抱持樂觀的期待。同時認為一旦一家中國客戶採用，其他客戶也會快速跟進。
問：EUV似乎是持續推進摩爾定律、延續未來納米工藝往下延伸的關鍵，未來進一步規劃與ASML對摩爾定律的看法？
答：毫無疑問摩爾定律會繼續下去，但每一製程技術節點之間的時間會延長，技術與資本門檻變得更高。浸潤式顯影技術走到三重曝光(triple-patterning)階段，成本已然超過EUV，生產交期更長、技術更為複雜，從量產的性價比角度，EUV在7納米以下技術節點已屬於最適方案。目前EUV光源已經可達250watt，達到每小時量產125片12吋晶圓，下一階段5納米技術節點以下High-NA EUV已經在布局研發。
ASML光刻機工作原理簡圖。
問：目前中國市場業務布局與銷售情況如何？ 2017年全年成長幅度與2018年的增長率預估？
答：全球半導體行業版圖位移，不僅本地晶圓廠，包括國際晶圓廠也在增加中國投資，ASML預期，中國光刻機市場規模具30億歐元潛力。總體而言，目前ASML在中國市場的裝機量累積已達約500台，2018年可望續增超過50台的裝機量。不僅一線大客戶，還涵蓋許多中、小型晶圓廠共計多達40多家客戶。
從銷售額軌跡來看，中國市場銷售額在2013-2015年維持持平，2016年微幅成長至6億歐元，2017年上半年中國市場銷售水平已達4億歐元，因此今年將較去年將有明顯增長。由於中國晶圓廠2018-2019年持續投入資本擴充產能，ASML 2018年銷售很可能創下中國區銷售新高的紀錄，而2019年也會持續呈現更明顯的跳躍式增長。
ASML一直秉持「客戶在哪裡就走到哪裡」，目前在中國已經各地設立11個銷售與服務據點包括新成立的南京分公司，明年初可能在成都設立分公司進一步深化服務當地客戶。
為了強化客戶服務與中國客戶深度合作關係，ASML也不斷壯大營運團隊，總部於上海、北京與深圳設立研發中心，全中國員工近600名，今、明兩年會持續擴大團隊，吸納優秀人才，並與科研機構展開深度研發合作與人才培訓。
對於中國客戶來說，單純只添購設備、使用設備已經不足以滿足其需求，提供深度而全方位地光刻解決方案(Holistic lithography solution)與客戶攜手開展強化微縮技術與優化良率的製程調控，才能符合中國客戶的深度需求。
