為什麼說我國國產半導體設備業有望十年翻五倍

1.靠什麼？到2020年國產半導體設備業有望十年翻五倍

在國家科技重大專項以及各地方政府、科技創新專項的大力支持下，國產半導體設備銷售快速穩步增長，多種產品實現從無到有的突破，甚至有些已經通過考核進入批量生產，在國內集成電路大生產線上運行使用。從眾多機構先後給出的預測數據看，我國半導體設備業的春天即將到來。

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中國半導體設備業的發展離不開集成電路的發展，隨著集成電路的逐步成長，半導體設備的發展得到了促進。

中國電子信息產業發展研究院集成電路研究所副所長林雨向記者介紹，2017年我國集成電路市場規模達到11985.9億元，同比增長8.7%，規模增速領跑於全球，這勢必為設備業產生一定的驅動作用。

「2017年，全球半導體設備投資規模達到570億美元，預計2018年可達630億美元，半導體設備的複合增長率為7.7%。預計到2020年，中國半導體設備有望可達全球半導體設備的25%，與2010年的4%相比，我們僅用了十年就翻了五倍。」中國電子科技集團公司第四十五研究所集團首席專家柳濱說。

十年來，我國部分高端裝備實現從無到有的群體突破。據記者了解，上海中微刻蝕機、瀋陽拓荊12英寸PECVD、上海瑞麗光學測量設備、北方華創12英寸氧化爐以及刻蝕機、中科信離子注入機等16種12英寸前道裝備，29種封測裝備通過生產線考核進入批量銷售。

封裝測試裝備的國產化率超過晶元業，上海微電子500系列步進投影光刻機已經佔到國內市場80%以上的份額，還有倒裝機、刻蝕機、PVD、清洗機、顯影、勻膠等設備均已滿足先進技術的要求，高密度集成電路用基板已經開始替代進口。

2.MOSFET快Hold不住了，什麼是MOSFET？

MOSFET：金屬-氧化物半導體場效應晶體管，簡稱金氧半場效晶體管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOSFET)是一種可以廣泛使用在模擬電路與數字電路的場效晶體管(field-effect transistor)。MOSFET依照其"通道"(工作載流子)的極性不同，可分為"N型"與"P型"的兩種類型，通常又稱為NMOSFET與PMOSFET，其他簡稱尚包括NMOS、PMOS等。

隨著處理器頻率的提高，過往的硅原料和製造工藝已經不能滿足設計需求了，相關廠商只能探索新的材料和製造方式。例如FinFET和高K特性的柵極絕緣層的引入，就是為了解決這樣的問題的。對測試廠商來說，任務也變得更加艱巨了：

現在MOSFET的柵極越來越薄，使用的材料也發生變化，那就引入了許多新的效應，比如熱電子注入和表面阱等等，因此如何測試MOSFET中的這些瞬時效應就成為測試廠商和晶元廠商關注的問題。

現在標準的MOSFET測試方案都是使用直流電或者慢速波形，而常見的MOSFET高速電路都跑在1GHz以上，因此傳統測試方案無法測試到高速電路中的許多重要瞬態效應。為了解決這問題，使用上升時間小於1ns的快速波形的高速測試（characterization）方案就很有必要了，因為這樣就能提取到這些重要參數，進行下一步的分析。

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