國內半導體產業鏈日趨完整，ASML計劃向5家國內客戶供貨

最新 03-23

今日推薦

2018 03 23

星期五

來源：ASML官網

原題目：中國對設備廠商的影響力上升，在地的半導體供應鏈越趨完整

EUV終於進入量產階段，部分尖端晶元製造商計劃在2018年或最遲2019年初採用。ASML總裁兼執行長Peter Wennink在2017年表示，「EUV進入大量晶元製造的準備工作將進一步加快」。

ASML 2017年營收達到13.4億美元，並在第四季額外接單10台EUV系統，目前ASML手中累積未出貨的EUV設備訂單高達28台。

ASML指出，隨著該公司持續支持中國不斷擴展的半導體產業，2016年半導體製造設備對中國的銷售額增加了20%以上，除了出貨在中國營運的外資晶圓廠，ASML還計劃於2018年向5家中國本土客戶供貨。

晶圓製造導入EUV的消息延宕多時，由於先進位程僅採用浸潤式曝光機(ArF-immersion)進行黃光製程難以繼續為廠商帶來成本效益，半導體廠商不得不致力於將EUV的導入成為現實，也因此EUV對ASML的營收佔比上升是可預期的結果，先進位程導入EUV。

雖然減少前段晶體管製程key-layer的光罩數目，將大幅減少ArF-immersion在Key-layer的使用，但晶體管微縮使得金屬導線線寬也進一步微縮，基於成本考量廠商仍會採用ArF-immersion進行部分金屬導線製程，加上存儲器廠商的產能持續擴增，ArF-immersion仍是受廠商仰賴的黃光設備。