中國對設備廠商的影響力上升，在地的半導體供應鏈越趨完整

EUV終於進入量產階段，部分尖端晶元製造商計劃在2018年或最遲2019年初採用。ASML總裁兼執行長Peter Wennink在2017年表示，「EUV進入大量晶元製造的準備工作將進一步加快」。

ASML 2017年營收達到13.4億美元，並在第四季額外接單10台EUV系統，目前ASML手中累積未出貨的EUV設備訂單高達28台。

ASML指出，隨著該公司持續支持中國不斷擴展的半導體產業，2016年半導體製造設備對中國的銷售額增加了20%以上，除了出貨在中國營運的外資晶圓廠，ASML還計劃於2018年向5家中國本土客戶供貨。

EUV營收佔比創新高，ArF-immersion仍是黃光設備市場規模最大宗產品

晶圓製造導入EUV的消息延宕多時，由於先進位程僅採用浸潤式曝光機(ArF-immersion)進行黃光製程難以繼續為廠商帶來成本效益，半導體廠商不得不致力於將EUV的導入成為現實，也因此EUV對ASML的營收佔比上升是可預期的結果，先進位程導入EUV。

雖然減少前段晶體管製程key-layer的光罩數目，將大幅減少ArF-immersion在Key-layer的使用，但晶體管微縮使得金屬導線線寬也進一步微縮，基於成本考量廠商仍會採用ArF-immersion進行部分金屬導線製程，加上存儲器廠商的產能持續擴增，ArF-immersion仍是受廠商仰賴的黃光設備。

中國對設備廠商的影響力上升

▼ASML於中國當地的營收及積壓待配訂貨統計

source：拓墣產業研究院

如圖所示，ASML出貨於中國當地的黃光設備營收貢獻逐年提升，2017年已達7.2億美元，佔ASML總營收11.3%，雖然相對台灣、韓國及美國佔比仍小，但已是5年前的2.1倍，成長不可謂不大，加上中國當地的積壓待配訂貨(Backlog)也創下新高達到8億美元。

顯然可見中國對半導體製造業的投資力道未見停歇，對ASML而言，中國的影響力越來越大，同樣的中國對其他半導體設備業及相關材料廠商也是如此，未來可預見中國在地的半導體供應鏈越趨完整。

文丨拓墣產業研究院 黃志宇

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