太赫茲二維成像系統及成像方法

工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，專利已不僅僅是創新的一種保護手段，它已成為商業戰場中的利器。麥姆斯諮詢傾情打造MEMS、感測器以及物聯網領域的專利運營平台，整合全產業鏈知識產權資源，積極推動知識產權保護與有效利用。

THz（太赫茲）成像是THz技術的重要應用方向之一，1995年，B.B.Hu和M.C.Nuss利用THz時域光譜系統實現了對新鮮樹葉和集成電路的掃描成像，該工作被視為THz成像領域的里程碑，直觀而清晰的透射掃描圖像證明了THz波在成像領域的巨大潛力。特別是由紅外量子級聯激光器（Quantum cascade laser, QCL）發展而來的THz QCL在成像方面的潛力也引起了廣泛的關注，這類器件具備輸出功率高、單頻性好和體積小易集成等特點，作為THz源被各種成像技術及系統所採用。

THz波介於毫米波和紅外光之間，與毫米波或微波成像相比，THz波成像可以獲得更高的解析度，因為THz波具有更短的波長；與紅外相比，THz波可以穿透很多紅外無法透過的材料，如紙張，塑料，陶瓷和半導體等，完成對隱藏目標物體的成像；與在醫學成像和安檢成像等領域廣泛應用的X射線相比，THz波具有更低的能量（1THz～4meV），可以彌補X射線容易對人體造成輻射損傷這一明顯缺點，同時對低密度物質成像的對比度又要優於X射線，基於上述優點，THz成像應用領域主要涉及隱蔽目標探測、安檢成像、無損檢測和癌變生物組織識別。

太赫茲成像應用於安檢

THz成像的發展趨勢是研製更加實用化的THz成像探測設備，不斷向著實時性、高解析度、遠距離和攜帶型等方向發展。採用的技術手段主要包括：優化掃描方式、合成孔徑技術和陣列接收技術等。在新型THz成像技術方面，基於THz QCL的成像技術是未來THz成像領域一個重要的發展方向之一。

對於現有的太赫茲成像系統，由於在探測器與傳輸光路之間設置分束片，使得進入探測器的太赫茲光先經過分束片反射，由此極大降低了入射信號的強度，導致了信號具有較大的干擾，並且入射信號的收集效率也急劇下降。

【推薦發明專利】

《太赫茲二維成像系統及成像方法》

【發明內容】

本發明在於提供一種太赫茲二維成像系統及成像方法，用於解決現有的成像系統中進入探測器的入射信號強度低、干擾大、且收集效率低的問題。

本發明所述成像系統的系統框圖

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