有底氣！中國芯立個小目標：10年進入全球第一梯隊

（原標題：有底氣！中國「芯」先立個小目標：10年進入全球第一梯隊 ）

2002年在北京建立首條生產線後，中芯國際就踏上了一條爭分奪秒、無從喘息的賽道。

以中芯國際為代表，我國晶元產業高端裝備和材料正經歷從無到有填補產業鏈空白的躍升，製造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭。在「刀頭舔血」的艱難追擊中，我國集成電路製造水平與國際先進水平的差距已從2000年時相差4、5代縮短至相差1到2代。

刻蝕機、離子注入機、化學機械拋光機、快速熱退火設備……在這些晶元生產線的關鍵位置，國產設備佔據的席位終於從1%提升到了15%——這是過去七年間，中芯國際國產化設備交出的成績單。

當中芯北京總經理張昕拿到這份經過嚴謹統計計算的數據後，他輕吁了一口氣，「苦心經營這麼些年，總算開花結果了。」

在中芯國際工作多年的老人兒都清晰記得，十多年前中芯國際在京投產時，大到生產線設備，小到螺母、螺絲釘，都是進口的。當時，集成電路生產線上刻蝕機、氧化機、薄膜、光刻、離子注入等關鍵設備，一直都由歐美日少數公司掌握。

投資一條晶元生產線，動輒要投資幾十億美元，除了廠房、基礎設施建設，購買先進設備是產線投入中的大頭。可是，國內廠商不掌握先進生產設備技術也就意味著，「投資10塊錢，9.8塊錢都花在了國外。」

除了「別人吃肉自己喝湯」，晶元生產核心設備受制於人更為嚴重的後果是，整個集成電路產業鏈的發展進程都要受壟斷技術、設備的發達國家牽制。

「想買設備，一等等上一年半載、甚至兩年，拿錢也得等著，人家得先給美國、日韓那些巨頭供貨。」北方華創副董事長耿錦啟說。對於技術迅速更新的晶元產業來說，多等兩年，就意味著晶元產品的技術要慢至少一代。

重壓之下，國產設備的攻堅進展卻十分緩慢。「剛接到攻克刻蝕機國產化任務那會，我連刻蝕機長什麼樣都沒見過。」耿錦啟回憶。

國產設備進晶元生產線，為何這麼難?

有同行拿晶元製造裝備中的刻蝕機打了個比方：人們在米粒上刻字，能刻200個已是極限，而等離子刻蝕機的加工工藝，相當於要在米粒上刻10億個字。而另一款更難做的光刻機，全球90%以上這種設備都由一家荷蘭公司壟斷。光刻機對精密化等技術的嚴苛要求，從一個側面細節就能了解：該公司所有的光刻機在交付給客戶時，都由公司機組人員護送空運上門，並手把手完成安裝調試，中途稍有不慎，就有可能影響設備使用。

2008年，國家科技重大專項02專項成立，組織「產學研」聯合開發，由行業龍頭企業中芯國際等牽頭，向世界先進的28納米等晶元技術節點攻關，並推動裝備國產化。北京市作為組織牽頭單位，對項目承擔單位予以資金扶持。中芯國際、北方微電子、七星華創(北方微電子、七星華創後重組為「北方華創」)、中科信公司等產業鏈的上下游企業站在了一起，開始了聯盟式的集體攻關。

「有一千個理由做國產化，也有一千個理由不做國產化。」對張昕來說，推動國產化進程，難度遠非「啃硬骨頭」所能形容，簡直是「刀口舔血」，必須冒著良品率上不來的巨大經營風險展開工藝磨合和改進。

今年，中芯北京二期的另一塊新廠房還將有大批設備進廠，並在明年逐漸實現滿產。滿產後，中芯位於北京經濟技術開發區的全部生產線將具備12萬片產能，成為整個中國大陸12英寸晶圓生產水平最高、技術最先進、規模最大的晶元生產基地。

另據了解，中芯國際14納米晶元計劃2019年上半年將在上海投產。14納米，正是目前全球領軍企業如今已實現量產的先進技術節點。

「我們和國外最先進水平的差距是一到兩代技術節點。」北京經濟技術開發區投促局副局長李冬明說。「力爭用10年時間進入全球第一梯隊」——在近日舉行的一場內部會議上，中芯國際董事長周子學也披露了中芯未來發展的「小目標」。

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