華卓精科：中國光刻機核心零部件頂尖供應商
全國中小企業股份轉讓系統指導，讀懂新三板&華璋資本承辦的「尋找下一個獨角獸——中國新三板頂級公司全國巡迴大型調研活動」，第四站走進了全球第二家掌握光刻機雙工件台技術的的華卓精科（834733.OC）。
華卓精科的核心戰略產品是光刻機雙工件台；其他整機設備包括激光退火、矽片堆疊、掃描干涉光刻機；零部件有運動平台、EFEM、靜電卡盤、隔振器等。
其核心優勢在於：
1.技術先進。華卓精科的核心戰略產品光刻機雙工件台，打破了ASML公司在工件台上的技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司。
2.完成多產品布局。基於雙工件台技術，公司在激光退火、運動平台、矽片堆疊、靜電卡盤、EFEM等領域均有布局，相應產品均已經從市場拿到相當數量的訂單，並具備生產交付能力。據華卓精科首席科學家朱煜透露，運動平台收入已經超過工件台，成為公司第一大業務。
3.面臨國產化替代機會，市場廣闊。公司產品在激光退火、運動平台、靜電卡盤、EFFM等領域均能實現國產化替代。相較於國外產品，價格至少低20%。因為公司的研發能力處於全行業頂尖位置，公司已經握有供不應求的訂單，未來業績確定性高。
指導|夏益軍
調研|夏益軍 孫婉瑩
撰寫|孫婉瑩
光刻機是製造集成電路的核心設備，長期被荷蘭ASML公司壟斷，並且高端產品對中國禁運，成為阻礙中國集成電路發展的重要障礙。
ASML光刻機
華卓精科建立初衷在於將清華大學在"極大規模集成電路製造裝備及成套工藝"國家科技重大專項中積累的尖端技術落地產業化。
光刻機主要是由曝光光學系統和超精密工件台等構成，其中超精密工件台是光刻機產品平台的核心子系統，承載晶圓在光刻過程中實現高速超精密的步進掃描運動，成本佔到整個光刻機的10%-20%。工件台要求在高速運動下達到2nm（相當於頭髮絲直徑的四萬分之一）的運動精度。由此奠定了光刻機超精密工件台技術在超精密機械製造與控制領域的最尖端地位，被稱為超精密技術皇冠上的明珠。
華卓精科研製的光刻機雙工件台
上海微電子是中國唯一一家生產高端前道光刻機整機的公司，華卓精科是其唯一的光刻機工件台供應商。作為世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司，華卓精科成功推出了第一台滿足65nm光刻機需求的雙工件台樣機，打破了ASML公司在工件台上的技術壟斷。
公司的實際控制人和首席科學家朱煜教授，工學博士，清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師，中組部"萬人計劃"首批科技創新領軍人才，科技部首批重點領域"超精密機械與測控創新團隊"負責人，清華大學機械電子工程研究所所長；擔任國家"極大規模集成電路製造裝備及成套工藝"科技重大專項實施方案編製專家組和總體專家組副組長、技術副總師，裝備組、光刻機組組長，光刻設備產業技術創新戰略聯盟專家委員會副主任。出版學術專著2部，發表論文170餘篇，申請國家發明專利160餘項，授權90餘項，其中美國專利9項。
華卓精科創始人首席科學家 清華大學朱煜教授
公司工件台的客戶是上海微電子，國內唯一一家生產高端前道光刻機整機的公司。據朱煜透露，國內光刻機工件台的市場規模大概在2.4億美元至4.8億美元左右，該產品具有很高的毛利率。
隨著公司戰略的推進，公司已經完成多項產品的布局。2017年，公司的運動平台收入大幅提高，已超越光刻機工件台成為華卓精科的第一大收入來源；EFEM、激光退火等產品也將在今年形成銷售。
華卓精科產品布局圖
近日，華璋資本&讀懂新三板拜訪了朱煜教授，介紹了公司目前狀況，以及未來發展戰略等。
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核心產品光刻機雙工件台，已實現多產品線布局
光刻機雙工件台
1.如何理解光刻機工件台的核心戰略產品地位？
朱煜:公司創立就是因為光刻機工件台的技術，因為02重大專項的成果要產業化，我們也將長期作為國家最核心戰略產品光刻機的工件檯子系統的唯一供應商，國家將長期支持該產品的創新研發與技術升級。
2. 您能介紹下光刻機雙工件台的產品嗎？
朱煜：在半導體製造領域，光刻機是晶元製造過程中最核心、最關鍵的裝備。主要是由曝光光學系統和工件台等構成，其中工件台是光刻機產品平台的核心子系統，在光刻過程中搭載晶圓實現高速超精密步進掃描運動，其成本佔到整個光刻機的10%-20%。
我們有兩個系列產品，一個面向乾式光刻機，另一個面向浸沒式光刻機。
3.乾式和浸沒式有什麼區別？
朱煜：浸沒式光刻機在工件台搭載的矽片和投影物鏡之間有一層水薄膜，而乾式光刻機沒有。這個差異導致兩者在精度上會有很大不同，浸沒式的曝光解析度可達38納米以下。而乾式的最好的也只能達到65納米。
4.雙工件台與原來單工件台有什麼差異？
朱煜：主要是生產效率不同。常規單工件台的生產率僅為每小時80片，現在雙工件台可以做到每小時270片，甚至300片。
另外，雙工件台也滿足了浸沒式的特殊需求，能實現更加精準的對準。
5.公司雙工件台技術在行業中是什麼水平？
朱煜：我們生產的雙工件台打破了ASML公司在工件台上的技術壟斷，是世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司。而且，在全球能單獨供應工件台的公司也只有我們。
6.光刻機工件台的客戶是上海微電子裝備集團股份有限公司（SMEE）？
朱煜：是的。國內也只有SMEE能生產高端前道光刻機整機。國外企業像ASML、NIKON既生產光刻機整機也生產雙工件台，沒有外購的需求。
7.工件台業務很依賴SMEE？
朱煜：是的，雙工件台系統的銷售完全依賴光刻機整機的銷售。
8.這種關係會影響到公司業務的發展嗎？
朱煜：會，目前國產光刻機整機距離國外產品仍然存在較大差距，如果最終下游的產品不能獲得市場認可，影響也將轉嫁到公司。但國產光刻機最大的優勢在於國家的大力扶植。
9.國內整個雙工件台業務的規模能到多少？
朱煜：按半導體產業500億美金的投資規模測算，80%用於購買設備，其中30%用於購買光刻機，其中20%屬於國產化，最後用於購買工件台的有10%-20%。算下來，大概在2.4億美元至4.8億美元左右。
10.目前，光刻機工件台的產品銷售情況是怎樣的？
朱煜：乾式的，就是我們正在實施的這個合同。2015年我們簽了1.2億的合同，今年完成全部交付。搭載該雙工件台的整機產品明年就會通過大線驗證，驗證後就會有新的批量訂單。
另外一款是浸沒式的，是去年立項，國家給我們4.2億補助，我們自己出1.1億，一共5.3億，第一台在2019年交付。交付之後，大概2020年、2021年產品上線測試，只要通過，就會有後續的批量訂單。
11.每台的價格是多少？
朱煜：乾式的雙工件台約2000萬，浸沒式的約6000萬。
12. 光刻機工件台是公司目前的營收主體嗎？
朱煜：不是，2017年開始光刻機工件台已經不再是營收主體。
2015年，光刻機工件台收入佔總營收的90%；2016年，下降至80%左右；2017年，大幅下降至30%以下；預計未來持續下降，佔百分之十幾。
激光退火（整機設備）
13.激光退火設備您能介紹一下嗎？
朱煜：激光退火實際上類似於一台小光刻機，我們在工件台的基礎之上，搭載相應的光源和光學系統，然後對晶圓進行步進和掃描運動控制，對錶面進行激光退火處理，也就把表面加到一定溫度以後，然後再降溫，實現晶格修復。
我們的產品是8寸IGBT激光退火和12寸前道激光快速退火。
14.公司在激光退火產品上的技術優勢如何?
朱煜：我們從2012年就開始做激光退火，承接的是清華大學的原始創新技術。技術轉讓給我們後，我們開發了三代，第三代已經達到國際水平，而且核心的光學子系統我們是跟德國合作開發的。
15.每台價格如何？
朱煜：大約1500萬元以上。
16.激光退火設備的市場推進情況是怎樣的？
朱煜：這個設備近期能夠形成銷售。這個基礎上開發的12寸的激光退火，我們力爭今年年底、明年年初能夠把產品拿出來到大生產線去測試，驗證考核通過之後，進行批量銷售。
17．激光退火設備的客戶是誰？
朱煜：像中芯國際、上海華力、長江存儲等。
18.激光退火設備今年的銷售額預計多大？
朱煜：目前，我們估計1000多萬，現在產品經理對於獲得訂單很有信心，今年這個目標能夠實現。
現在我們主要受產能制約，也在找新的廠房。這個階段過了之後，我們明年就應該可以釋放我們的產能，穩步向上提升。
EFEM/Soter（零部件）
19.EFEM和Soter可否詳細介紹一下？
朱煜：EFEM是一個設備的前端輸片系統。Soter與EFEM類似，是一台獨立工作的倒片機。
20.應用場景是？
朱煜：主要在集成電路、大型生產性設備。矽片盒搭載上去以後，EFEM負責通過機械手把矽片傳到機器內部進行工藝處理，加工完成後再用機械手取回來，再回到另外一個矽片盒裡，形成一個自動的流水線作業。
21.EFEM的市場推進如何？
朱煜：今年2月立項，4月完成產品設計，8月左右完成系統測試和優化，9月、10月完成用戶測試。Soter由中芯國際測試，EFEM是瀋陽拓荊測試。測試通過後，年底形成銷售並批量生產。
22. 這個市場有多大？
朱煜：年需求超過1000套，約12萬美元/套。
23. 目前全部是由國外廠商生產嗎？
朱煜：不是，國內有幾家在做，但是他們的機械手等核心部件是進口的，基本上沒有利潤。
運動平台（零部件）
24.什麼是運動平台?
朱煜：不在光刻機上的工件台，我們叫運動平台。
25.運動平台主要應用在哪？
朱煜：用在測試設備、製版設備，還有一些其他的檢測儀器上。
26.運動平台的客戶是誰？
朱煜：說幾個比較大的客戶：中科飛測，做膜厚缺陷檢測的設備；長春華大，做基因測序儀。
其他的包括：長川（晶元檢測）、瑞聲科技（手機屏檢測）、FICAN（安檢設備）等企業，上海光機所、長光所、光電院、浙大等研究機構都需要運動平台。
27. 市場推進情況如何？
朱煜：現在運動平台已經超過光刻機工件台，成為我們的第一大業務。
28.運動平台的市場規模情況如何?
朱煜：我們預測今年公司這塊業務在5000萬以上，到2021年的銷售規模會在一億以上。
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走高端定製路線，實現關鍵零部件國產化
29.半導體行業的銷售相對穩定嗎？
朱煜：不穩定。
第一，集成電路有周期漲落現象，投資都是一茬一茬的；第二，取決於你在市場當中拓展的情況，能佔有多大的份額。
整體上來講，到2025年之前，會有一個可觀的量。因為我們是獨家的，所有的光刻機，不管是哪一款，都要用雙工件台，幾十台的量。
30.公司的競爭策略是怎樣的？
朱煜：第一，我們走的是高端定製路線，跟客戶共同成長。像中科飛測從一開始到她慢慢上量，我們一直跟隨她們一起成長。
第二，我的競爭優勢就是把關鍵零部件的國產化。
31.哪些產品能完成國產化替代？
朱煜：激光退火設備、運動平台、靜電卡盤、EFFM、精密光電這些東西都可以。
32.會面臨國際上比較大的競爭嘛？
朱煜：有競爭，但一定程度的國產化是國家戰略需求。其次，國產設備也存在價格優勢。
33.同樣的質量，價格上比國外大概能低多少？
朱煜：百分之二三十是肯定的。
34.從價格上看，公司產品的國際競爭優勢還是比較強的？
朱煜：對。
35.公司產品有考慮放在國外市場進行銷售嗎？
朱煜：我們的很多產品將來都有這樣一個計劃，會向全球進行市場推廣。
36.會有一個時間點嗎？
朱煜：滯後國內市場的開拓兩年左右。
其實我們在韓國、美國、以色列早就已經有銷售，不管是我們的隔振器，還是運動平台，都在海外有過銷售。
37.供應商情況如何？
朱煜：現在我們大概有一百多家供應商，提供電機導軌、光柵尺、驅動器等。
38.所以上游的一些零部件其實並不會像下游那麼稀缺？
朱煜：是的，我們現在只有極少數幾樣東西，存在一定的瓶頸。
十幾年來我們培育了多家，不斷地在降低成本，做品質管理。國外的採購供應商的稀缺，現在也在著力地解決。
39.您說的培育是指技術扶持？
朱煜：對。就是告訴他要做成什麼樣，給他講什麼地方做的不好，甚至工藝上對他進行指導，包括對它的管理進行干預。
40.目前培育的進展是基本上大部分零部件都能國產化？
朱煜：90%以上實現國產化。
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