擺脫進口依賴 制「芯」重要材料實現國產

光刻膠用線性酚醛樹脂是晶元生產的重要材料之一，之前完全依賴進口。日前濟南聖泉集團傳來好消息，經過11年艱苦攻關，他們的產品取得重大突破，已經實現了國產化。

濟南聖泉集團作為國內唯一能夠生產此類產品的企業，目前集團產品的各項指標已經達到了日本客戶的要求，獲得了向日本某知名光刻膠生產企業供貨的機會。

"光刻膠用線性酚醛樹脂"國產化成功

濟南聖泉集團股份有限公司技術中心副主任李枝芳介紹說： 「我們這種材料叫光刻膠用線性酚醛樹脂，正性光刻膠是晶元製作必不可少的一種材料，目前沒有替代品」 。

光刻膠用線性酚醛樹脂，通俗來說就是用化學原料合成的一種高端樹脂，是微細加工技術中的關鍵性化工材料。在晶元生產過程中，它的作用就是畫圖和保護底板。

攻堅克難：光刻膠用線性酚醛樹脂成功研發

由於之前技術無法突破，長期由美國、日本等國壟斷，中國要使用它進行晶元製作，只能依賴於進口。研發之初就碰到了無法攻克的難關。

光刻膠用線性酚醛樹脂成功研發

一顆一微米也就是說當於頭髮絲直徑六十分之一的金屬雜質，就可以造成晶元的報廢。所以說光刻膠樹脂對金雜的管控是非常重要的，這也是工藝控制的難點和要點。

為了攻克這一難題，企業與中科院化學所合作成立了「酚醛樹脂技術研究中心」，建成博士工作站，又引進了日本先進的環氧樹脂生產技術，建成國內最大的電子級特種環氧樹脂車間。用時11年，攻克了分子量分布穩定性和金屬雜質的難題，同時形成了晶元級光刻膠用線性酚醛樹脂的量產能力。

「所有的材料的研發都不一定是有結果的，我們和上下游企業為之傾注了很多的力氣，很多的心血」，濟南聖泉集團股份有限公司總裁唐地源認為：「中國的晶元行業需要整個行業的上下游抱團取暖才能夠取得更加符合時代發展的新的產品的問世。」

光刻膠用線性酚醛樹脂成功研發

據了解，晶元有幾十種大門類上千種小門類，晶元製造一條生產線大約涉及50多個行業、2000-5000道工序，成百上千種材料。而每一種材料的研發都需要下大力氣，我們也期待著更多好消息的到來。

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