突破晶元技術封鎖 中國公司購兩台核心機器價值12億

近日，武漢天河機場迎來了一箱比黃金還要貴重的進口設備！

據cnBeta、環球網、快科技等多家媒體證實，長江存儲從荷蘭阿斯麥（ASML）公司訂購的一台光刻機已抵達武漢。這台光刻機價值高達7200萬美元，約合人民幣4.6億元。

另據日經亞洲評論（Nikkei Asian Review）上周報道，中芯國際也向阿斯麥下單了一台價值高達1.2億美元的EUV（極紫外線）光刻機。這台機器預計將於2019年初交貨。

荷蘭當地媒體《埃因霍溫經濟報》也證實了上述消息。

從飛利浦獨立出來的阿斯麥公司在高端光刻機領域佔據了全球90%的市場份額。光刻機（又稱曝光機）是生產大規模集成電路的核心設備，對晶元工藝有著決定性的影響。

法國研究所暗室中的小型曝光機

如今，中國兩家企業先後訂購了兩台高端光刻機，總價值約12.3億元人民幣。據日經亞洲評論報道，阿斯麥公司有關人士否認有媒體關於「高端光刻機對中國大陸禁運」的傳聞，強調對中國大陸客戶一視同仁。

此外，阿斯麥公司接受中芯國際訂單的時間點是在今年4月中興通訊遭遇美國制裁之後。

長江存儲迎來第一台光刻機

2016年，紫光集團與國家集成電路產業投資基金、湖北科投等合資成立了長江存儲，註冊資本額為人民幣386億元。長江存儲公司是中國高端晶元聯盟發起單位之一，被寄望推動中國半導體產業自主研發。

長江存儲官網宣傳片截圖

據快科技等報道，長江存儲訂購的這台光刻機採用193nm沉浸式設計，可生產20-14nm工藝的3D NAND快閃記憶體晶圓，售價達7200萬美元，約合人民幣4.6億元。

目前，該機已經運抵武漢天河機場，相關入境手續辦理完畢後，即可運至長江存儲的工廠。

根據官網資料，2016年底，國家存儲器基地項目(一期)一號生產和動力廠房在武漢正式開工建設，2017年9月底提前封頂，2018年4月5日首批價值400萬美元的精密儀器進場安裝。

國家存儲器基地項目晶元生產機安裝儀式（圖片來源：長江存儲官網）

目前，長江存儲擁有完全自主知識產權的32層堆疊3D NAND快閃記憶體已經開始試產，不少產業鏈企業都拿到了樣片測試，預計今年第四季度量產。同時，長江存儲還在推進64層堆疊3D快閃記憶體，力爭2019年底實現規模量產，將與世界領先水平差距縮短到2年之內。

中芯國際進軍「7納米」時代

2000年成立的中芯國際（SMIC）總部位於上海。在港股上市的中芯國際據稱是中國大陸規模最大、技術最先進的集成電路晶元製造企業之一。

據日經亞洲評論報道，儘管中芯國際在這一市場仍落後於市場領先者兩至三代技術，但是購買到目前世界最先進的EUV光刻機，彰顯了其努力追趕的決心。

阿斯麥官網產品示意圖

EUV是目前世界上最昂貴也是最先進的晶元生產工具。小於5納米的晶元晶圓，目前只能用EUV光刻機生產。三星電子和台積電目前正競爭生產7納米工藝技術晶元，這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。

中芯國際這次引進的EUV光刻機預計將於2019年初交付。而在2017年3月，中芯國際宣布將進軍7納米工藝技術的研發。

有晶元行業高管表示，

「購買這樣的機器雖然不能保證100%成功，但這至少顯示了中芯國際自主研發的決心和動力。」

光學研究機構人士表示，

「這台光刻機一旦安裝完成，將會極大縮短工藝時長，並且讓廠商有能力嘗試生產更複雜的高精度晶元。」

中芯國際2017年凈利潤為1.264億美元，幾乎全部用於這台光刻機的訂購了。2018年一季度，中芯國際凈利潤為2937萬美元。

中芯國際聯合首席執行官趙海軍在5月10日的財報電話會議上稱，該公司將2018年晶元生產的全年資本支出從19億美元上調至23億美元。

光刻機：摩爾定律「守護神」

那麼，這種無比金貴的光刻機，到底有什麼樣神奇的魔力呢？

光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，製造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世界上只有少數廠家掌握。因此光刻機的價格昂貴，通常在3000萬至5億美元不等。

目前，雖然尼康、佳能等對手都在勉力競爭，但是阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機市場份額。最新的兩代高端光刻機領域，即浸入式（Immersion）和極紫外線式（EUV）光刻機，全部由阿斯麥掌握核心技術。

光刻機的作用是掃描曝光晶元晶圓，刻蝕集成電路。精度越高的光刻機，能生產出納米尺寸更小，功能更強大的晶元。

目前，蘋果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器晶元，採用了台積電的10納米工藝技術，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術。阿斯麥的EUV光刻機，則能生產出5納米工藝級別的晶元。

因此，阿斯麥的光刻機甚至被稱為「摩爾定律」的守護神。眾所周知，摩爾定律是指每隔兩年左右一個晶元上的晶體管數量將翻一番，因此晶元的性能將相應提高。

隨著晶元面積越來越小，很多人開始擔心1965年提出的摩爾定律將要失效。但是光刻機的更新換代，卻還在將晶元工藝推向極致，大體上維持著摩爾定律。

阿斯麥看好中國大陸市場

《瓦森納協定》是一項由40個國家簽署的協定，限制締約國向非締約國出售敏感性高科技技術。

此前曾有一種說法，認為最高端的光刻機技術受到《瓦森納協定》影響，被禁止向中國大陸出售。然而，阿斯麥公司發言人向日經新聞駁斥了這一傳聞。

該發言人表示，阿斯麥公司對全球各地包括中國大陸在內的客戶一視同仁，對中國大陸晶圓廠商的出口不受《瓦森納協定》等任何限制。

阿斯麥中國區總裁金泳璇曾經表示過，產能和研發周期才是制約阿斯麥供貨數量的關鍵。在2018-2019年間，阿斯麥公司看好中國大陸地區晶元生產規模迅速擴大。

2017年10月，在接受中國台灣地區半導體行業媒體數碼時報（DigiTimes）採訪時，金泳璇表示，

「中國大陸的晶圓廠與其他所有客戶，於 ASML而言都是一視同仁的，只要是確認訂單， EUV要進口到中國大陸完全沒有任何問題。

由於 EUV零組件多達5萬多個部件，從客戶下單到正式交貨，交期約21個月，這個情況，對每個客戶都是完全一致的。

我們對中國大陸客戶裝入其第一台 EUV光刻機，抱持樂觀的期待。同時認為一旦一家中國大陸客戶採用，其他客戶也會快速跟進。」

ASML預期，中國光刻機市場規模具30億歐元潛力。由於中國晶圓廠2018-2019年持續投入資本擴充產能， ASML 2018年銷售很可能創下中國區銷售新高，而2019年也會持續呈現更明顯的跳躍式增長。

，阿斯麥2017年營收高達90.5億歐元，凈利潤21.2億元。2018年一季報顯示，2018年阿斯麥銷售依然強勁，今年一季度達22.9億歐元，凈利潤5.4億歐元。

而在最近一年的時間內，阿斯麥在美國納斯達克的股價累計漲幅達到47.3%。

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