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第五篇:半導體製造材料——濕電子化學品

濕電子化學品簡介及應用領域

濕電子化學品(Wet Chemicals)指為微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、濕法清洗)製程中使用的各種電子化工材料。濕電子化學品按用途可分為通用化學品(又稱超凈高純試劑)和功能性化學品(以光刻膠配套試劑為代表)。其中超凈高純試劑一般要求化學試劑中控制顆粒的粒徑在 0.5μm 以下,雜質含量低於 ppm 級,是化學試劑中對顆粒控制、雜質含量要求最高的試劑。功能濕電子化學品是指通過復配手段達到特殊功能、滿足製造中特殊工藝需求的配方類或復配類化學品。功能性濕電子一般配合光刻膠用,包括顯影液、漂洗液、剝離液等。

濕電子化學品主要適用於平板顯示、半導體及 LED、光伏太陽能等電子元器件微細加工的清洗、蝕刻、等工藝環節。

按下游產品應用的工藝環節分,主要有平板顯示製造工藝的應用、半導體製造工藝的應用及太陽能電池板領域工藝的應用。其中平板顯示製造領域對濕電子化學品的技術要求較高,半導體製造工藝用濕電子化學品是技術要求最高,太陽能電池板製造用濕電子化學品技術要求相對較低。

半導體製造用濕電子化學品主要用於半導體集成電路前段的晶圓製造及後端的封裝測試環節。在晶圓製造過程中,濕電子化學品主要用於清洗顆粒、有機殘留物、金屬離子、自然氧化層等污染物。另外,通過蝕刻液與特定薄膜材料發生化學反應,從而出去光刻膠未覆蓋區域的薄膜,實現圖形轉移,獲得器件的結構。濕電子化學品也應用於後段高端封裝領域的清洗、濺射、黃光、蝕刻等工藝環節。

技術門檻

國內濕電子化學品基本集中在 G2 等級,而大部分集成電路用材料基本要求在 G4、G5 等級。目前國際上公認的濕電子化學品雜質含量標準是 SEMI 國際標準,共分為五個等級(如圖表 112),其中 G5 為最高等級。按照 SEMI 等級的分類,G1 等級屬於低檔產品,G2 等級屬於中低檔產品,G3 等級屬於中高檔產品,G4 和 G5 等級則屬於高檔產品。集成電路用超高純試劑的純度要求較高,基本集中在 G3、G4 水平,中國的研發水平與國際尚存在較大差距。分立器件對超凈高純試劑純度的要求低於集成電路,基本集中在 G2 水平,國內企業

的生產技術能夠滿足大部分生產需求。

綜合來看,濕電子化學品的關鍵生產技術包括混配技術、分離技術、純化技術以及與其生產相配套的分析檢驗技術、環境處理與監測技術等。這些都需要企業具備一定研發能力和技術應用能力。同時,下游電子器件的生產工藝不同,會需要一些功能性專用的濕電子化學品,這需要相關企業有較強的配套能力,能夠掌握核心的配方工藝以滿足下游電子信息產業的功能性需求。以上生產技術、生產工藝,配方技術和配套能力都構成了企業進入濕電子化學品生產經營領域的進入壁壘。

濕電子化學品主要採用蒸餾、亞沸蒸餾等溫蒸餾、減壓蒸餾以及升華、化學處理、氣體吸收等技術,將產品中的金屬雜質分離出來確保產品的純凈度。濕電子化學品的品種多,每種產品的製備要求各不相同,因此無法設計加工通用設備。必須根據不同品種的特性來確定各自的工藝路線,設計加工各自所需的設備。

市場規模

2016 年全球濕電子化學品市場規模約為 11.1 億美元。濕電子化學品作為新能源、現代通信、新一代電子信息技術、新型顯示技術的關鍵化學材料,其全球市場規模自 21 世紀初開始快速增長。根據 SEMI數據顯示,2016 年全球濕電子化學品市場規模約為 11.1 億美元。

2016 年我國半導體用濕電子化學品市場規模約為 14 億元。根據IC Mtia 數據顯示,我國半導體用濕電子化學品的市場規模為 14 億元,同比小幅增長。隨著國家 02 專項的大力支持和優秀企業的不斷研發,我國無機酸類、無機鹼類及有機溶劑等各類高純化學試劑有望通過更高端的製程驗證,進一步打開國內市場。

濕電子化學品種類繁多,各類濕電子化學品主要應用於面板、半導體及太陽能電池三大領域。液晶面板是下游最大的應用領域,2017年需求量佔比約為 49%,半導體和太陽能電池領域的需求量佔比分別為 28%和 23%。

全球產業格局及主要企業

歐美和日韓台地區企業仍佔據產業主導位置。全球濕電子化學品的參與企業主要分為:

1)歐美企業:主要包括歐美傳統化工企業的濕電子化學品部門(包括它們在亞洲開設工廠),其市場份額(以銷售額計)約為 35%;

(2)日本企業:日本約十家濕電子化學品生產企業佔據全球 28%的市場份額;

(3)其他國家或地區企業:主要是中國台灣、韓國、本土企業生產的濕電子化學品,約佔全球市場總量的 32%。其他約 2%的份額則由其它國家和地區(主要為亞洲其它國家、地區的企業)佔據。

中國產業格局及主要企業

我國濕電子化學品應用市場分為三大類:即半導體市場、光伏市場、平板顯示器市場,國產化率分別約為 15%、25%、98%。1)半導體市場是對濕電子化學品水平要求最高的市場,因此大陸企業產品在國內半導體市場總體只佔約 15% 的市場份額。8 寸及以上集成電路用濕電子化學品基本採用進口,但是 6 英寸及 6 英寸以下集成電路濕電子化學品國產化率已提高到 80%;2)在平板顯示器市場,我國大陸企業產的濕電子化學品,僅有 3.5 代線及其以下用玻璃面板市場佔有率為 95%,而 LCD 面板 4.5 代線、 5 代線用濕電子化學品市場的份額僅有 30%,我國大陸企業在整體平板顯示器的濕電子化學品市場上只佔有 25%份額;3)在太陽能領域,因其對濕電子化學品的性能要求不高,門檻相對較低,所以我國大陸企業產品佔有 98%以上市場份額。

目前國內濕電子化學品的主要廠商有江化微、江陰潤瑪、晶瑞股份等,國內企業快速突破技術壁壘,憑藉成本及本土化優勢得以迅速發展。中國企業不斷加強濕電子化學品基礎研究,目前包括江化微在內的一批本土企業突破了跨國企業的技術壟斷,部分領域產品已經達到國際標準。掌握相關生產技術後,國內企業的成本優勢、地域優勢、合作研發優勢、快速交貨優勢得以迅速體現,從而獲得了快速的發展。

從產品結構看,江化微的產品覆蓋平板顯示、半導體、光伏太陽能三大領域全系列的濕電子化學品,江陰潤瑪、晶瑞股份側重部分產品的生產。

1)江化微:公司目前國內生產規模最大、品種最齊全、配套性最強的超高純濕電子化學品專業集成服務提供商。公司建有年產 8 萬噸的超高純濕電子化學品生產基地,主要生產設備和測試儀器全部從國外引進,產品質量達到國際同類先進水平。目前公司產品已經達到SEMI 標準高端電子化學品行列,具備 G2、 G3 等級產品的規模化生產能力,其硝酸純度、氫氟酸、氨水等細分產品都達到了 G4、G5的行業水平。

2)江陰潤瑪:公司主導濕電子化學品主要包括蝕刻液系列、氫氟酸、高純硝酸等。公司擁有領先的自主創新能力,其自主研發的鋁腐蝕液、鈦腐蝕液、銅腐蝕液、鉬鋁蝕刻液填補了國內相關技術的空白,其中鋁蝕刻液的關鍵技術水平達到德美日韓等發達國家的產品水平,在性價比和售後服務方面有顯著的競爭優勢。

3)晶銳股份:晶公司主導濕電子化學品產品品種包括氫氟酸、雙氧水、高純硝酸,並以生產氫氟酸、過氧化氫(雙氧水)生產規模大而在國內著名。其超凈高純雙氧水品質達到了 10ppt 級別水平,相當於 SEMI 制定的最高純度等級(G5)。

A 股重點投資標的

濕電子化學品行業主要受益股票組合包括:江化微(603078),晶瑞股份(300655),光華科技(002471),巨化股份(600160)。

江化微(603078.SH)

公司是國內濕電子化學品生產服務領域龍頭企業,主要產品為超凈高純試劑、光刻膠及光刻膠配套試劑等專用濕電子化學品,產品應用於平板顯示、半導體及光伏太陽能等領域。目前公司產品已經達到SEMI 標準高端電子化學品行列,具備 G2、G3 等級產品的規模化生產能力,其硝酸純度、氫氟酸、氨水等細分產品都達到了 G4、G5 的行業水平。

2017 年,公司超凈高純試劑、光刻膠配套試劑佔總營業收入的比例為 66.83%和 30.85%。

公司自主設計出一整套濕電子化學品生產工藝,並自主研發配置了滿足規模化、專業化濕電子化學品生產流水線。由於下遊客戶的工藝不同,生產流程不同,從而需要特定功能的濕電子化學品。公司利用自身專業的研發團隊,研發出具有國際水平產品的生產配方,先後有高效酸性剝離液、鋁鉬蝕刻液、低溫型水系正膠剝離液、低張力 ITO蝕刻液、高解析度顯影液、二氧化硅蝕刻液、鈦-鋁-鈦金屬層疊膜用蝕刻液等十三類產品被江蘇省科學技術廳評定為高新技術產品。

新項目、新產品未來陸續投產保障公司實現高速增長。公司於 6月 14 日與鎮江新區管理委員會簽訂投資協議書,將建設年產超過 20萬噸超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等各類電子化學品材料項目、預計將在 2021-2022 年全部投產,預計實現年銷售收入約 21.5 億元,稅後年凈利潤約 5.1 億元。

計算合理估值:

合理估值:57.81元,(20180611股價:42.92元)註:僅僅做記錄,不是推薦!

晶瑞股份(300655.SZ)

公司是國內濕電子化學品領域的領軍企業。公司是一家專業從事微電子化學品的產品研發、生產和銷售的高新技術企業。主要生產四大類微電子化學品,應用到五大下遊行業:主導產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料和鋰電池粘結劑四大類微電子化學品,廣泛應用於半導體、光伏太陽能電池、LED、平板顯示和鋰電池等五大新興行業,具體應用到下游電子信息產品的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料製備等工藝環節。

2017 年營收公司結構為超凈高純試劑(37.01%)、鋰電池粘結劑(35.22%)、光刻膠(14.11%)、功能性材料(12.27%)。

公司在產品品質方面堅持精益求精,部分產品已達到國內或國際先進水平超凈高純試劑的核心產品超純氫氟酸、鹽酸、硝酸和氨水,純度等級已達到 SEMI G3、G4 等級,拳頭產品雙氧水技術突破國際壟斷,產品品質達到 10ppt(相當於 SEMI G5 等級),成功填補了國內空白,目前已在華虹宏力進行上線評估;功能性材料品種豐富、功能齊全, 憑藉獨特的原料和配方優勢,可以有效滿足下遊行業不同的製造工藝製程要求;公司生產的光刻膠能夠提供紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g線、i 線正膠等高端產品,在國內率先實現了 IC 製造商大量使用的核心光刻膠即 i 線光刻膠的量產,是三安光電、華潤上華、宸鴻光電等公司的長期合作供應商。

資本整合提速,外延內生雙輪驅動促增長。上市後公司設立了兩個子公司:眉山晶瑞打開西南市場,善豐投資作為投資平台。同時,進行了三次對外投資:投資金匱光電、收購日本瑞翁及日本丸紅所持有的蘇州瑞紅少數股權、收購江蘇恆陽 80%股權。此外,公司近期公告擬實施三年期股權激勵計劃,有利於完善公司治理結構,綁定核心人員,對公司長期發展形成利好。

計算合理估值:

合理估值:18.62元,(20180611股價:18.69元)註:僅僅做記錄,不是推薦!

光華科技(002741.SZ)

公司為技術優勢突出的全國 PCB 化學品龍頭。公司主要產品分為 PCB 化學品、鋰電池材料及化學試劑三大類。PCB 化學品分為高純化學品及復配化學品。高純化學品包括:孔金屬化鍍銅系列、鍍鎳金系列、鍍錫系列等;復配化學品包括:完成表面處理系列、褪膜系列、化學沉銅系列等。主要應用於集成電路互連技術的專用化學品,如 PCB 製作的棕化工藝、褪膜工藝、孔金屬化鍍銅工藝、鍍鎳工藝、鍍錫工藝、新型無鉛 PCB 表面處理工藝等專用化學品。鋰電池材料主要產品有三元前驅體及三元材料系列產品,磷酸鐵及磷酸鐵鋰系列產品,鈷鹽、鎳鹽、錳鹽系列產品等。化學試劑產品包括分析與專用試劑,主要應用於分析測試、教學、科研開發以及新興技術領域的專用化學品,其中超凈高純試劑化學試劑為集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)製造過程中的關鍵性基礎化工材料之一。

2017 年公司三類主要產品 PCB 化學品、鋰電池材料及化學試劑營收佔比分別為 58.97%、9.79%、16.16%。

切入鋰電池領域,積極拓展新利潤增長點。公司基於分離提純和深度除雜等技術實現高品質鈷鹽系列關鍵技術集成及產業化,並以自產原材料生產三元前驅體,成本優勢較為明顯。目前,公司 1000 噸三元前驅體示範線已實現生產銷售。此外,公司使用新工藝和新技術合成高性能磷酸鐵鋰,自製中間體磷酸鐵且原材料豐富,磷酸鐵鋰項目有望在 1Q18 進行試生產。

計算合理估值:

合理估值:27.63元,(20180611股價:19.67元)註:僅僅做記錄,不是推薦!

巨化股份(600160.SH)

公司是國內領先的製冷劑和氟化工龍頭企業。公司擁有國內最大的氟化工、氯鹼化工綜合配套基地,完整布局了氟化工產業鏈上下游,產業協同優勢明顯。目前,已形成製冷劑、含氟精細化工品、石化材料、含氟聚化物、食品包裝材料等主要業務板塊。與此同時,公司通過全資子公司浙江凱聖氟化學有限公司和浙江博瑞電子科技有限公司快速切入濕電子化學品及電子特氣領域。2017 年,公司營業收入、歸母凈利潤分別同比增長 36.3%、518.6%,主要是受配額制、環保、原材料漲價支撐、需求持續向好帶動,各類產品價格大幅上漲所致。

2017 年,公司營收構成為製冷劑(26.86%)、基礎化工產品(10.83%)、石化材料(10.45%)、氟化工材料(9.14%)。

聯合大基金,內外雙向打造電子材料龍頭。2017 年 12 月公司宣布聯合國家集成電路產業投資基金公司等投資主體共同出資設立中巨芯科技,公司持股比例為 39%。中巨芯科技主要通過投資或收購電子化學材料產業實現內生髮展,並通過整合國內外優秀的電子材料企業實現外延擴張,打造國內電子材料龍頭

計算合理估值:

合理估值:16.9元,(20180611股價:8.08元)註:僅僅做記錄,不是推薦!

聲明:本文所有數據和觀點,全部來自於公開研報。

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