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論韓國半導體設備發展,尋中國解決之道

韓國半導體設備市場原本由美國及日廠獨佔,在韓國政府大力推動下,在韓國產業界的的扶持下,過去大部份依賴進口的半導體核心設備正迅速國產化以替代進口產品。

根據韓國半導體產業協會統計,1993年時韓國半導體設備國產比例僅8%,2007年提升至20%,2015年時已來到約30%,2017年達到33%。由此說明韓國半導體設備國產化已逐漸有成效。

眾所周知,韓國在半導體業有三星半導體和SK海力士,在面板業有全球TOP2的三星Display和LG Display。韓國的設備廠商依靠這四大客戶,迅速崛起。很多原本只做面板設備的公司在三星和SK海力士的支持下,迅速進軍半導體設備領域,並取得了不錯的成績。韓國有很多設備廠商既做半導體設備也做面板設備。

SK海力士在2004年改造的12寸晶圓廠M10中大量採用國產設備,被稱為國產設備示範廠。而三星更是與眾多設備廠商聯合開發,但是三星要求設備公司不得供應給SK海力士和LG顯示。

設備國產化可以節約設備採購成本,並降低對進口的依賴等。目前韓國在刻蝕、沉積、勻膠、熱處理、離子注入、去膠、研磨、量測、濕法等領域都取得了不錯的成績。

事實上中國,中國現在有中芯國際、華虹宏力、華潤微等半導體大廠,還有長電科技、華天科技 、通富微電等全球知名的封裝廠,也有京東方、天馬、華星光電等面板廠,應該與眾多設備廠商聯合攻關,大量驗證,必將加速我國半導體設備國產化的進程。

目前國內設備公司都還很弱小,超過10億元的設備公司不多,是否該進行整合。或者打造中微半導體和瀋陽拓荊模式,聯合攻關,上下游互補。

不過,隨著工藝的發展,半導體設備的試錯成本大增。所以我們可以借鑒三星的經驗,投資入股,成為設備公司的股東。和三星相關的半導體設備公司有細美事、盛帆、元益IPS、首爾精密。而國內好像還沒看到有類似情況。

不過,三星、SK海力士都是IDM廠,在存儲器領域具有完全的發言權,對設備的選型具有操作性。

所以說,目前國內有大咖主張IDM(註:此IDM絕不是CIDM)的模式也許能解決我國半導體設備國產化的進程。

筆者人微言輕,歡迎拍磚。下面我們還是看看韓國主要的17家設備供應商。

1、阿帕控股

1994年成立,2017年3月,阿帕系統分拆並轉變為控股公司更名阿帕控股。

阿帕控股旗下有阿帕系統、數字設備整體方案、科林自動化、珍界和未來檢測。

阿帕系統:半導體、面板;激光退火、激光剝離;

數字設備整體方案:檢測設備;

科林自動化:自動化控制;

珍界:半導體面板設備洗凈

未來檢測:缺陷檢測和計量。

2、查姆工程

1973年成立;半導體及面板、太陽能、PCB設備供應商。半導體設備有刻蝕、PECVD設備等。

3、迪麥思

1999年成立,主要的產品有清洗設備、濕法刻蝕設備等等,可用於半導體和面板。

4、伊歐科技

1989年成立,半導體、面板、PCB設備供應商,產品有清洗設備、退火設備、切割設備、晶圓打標設備等。

5、有進科技

2000年成立,主要供應半導體沉積設備如LPCVD、ALD設備,三星電子和SK海力士都是其主要客戶。

6、韓密半導體

1980年成立,產品幾乎覆蓋整個半導體封裝產線,也涉及面板及太陽能領域的設備。

1980年Han-Mi Mold & Tool Co.成立;2002年更為現名。

7、周星工程

1995年成立;周星工程基於創造和創新理念,通過不懈的挑戰和創新精神,以及先進的開發技術,在半導體設備、顯示器、光伏電池、照明設備等領域取得了舉世矚目的成果。

半導體設備有ALD、CVD、ETCH設備等等。

8、慶昌科技

1987年2月成立;半導體及面板設備供應商,生產半導體CMP設備和濕法清洗設備。配合CMP設備,還設有半導體材料事業部供應CMP研磨液。

2014年成功國產化CMP設備,市佔率迅速提升,現在在韓國擁有超過10%的市佔率。

9、洛特真空

2002年成立,韓國最大的干泵廠商,產品覆蓋半導體,面板,太陽能甚至用於核工業及一般產業。

1帕斯科

1990年成立,主要產品是等離子清洗設備,可用於晶圓級封裝,半導體製造中的硅膠剝離及刻蝕工藝,硅膠剝離領域全球第一。

11細美事

細美事是三星控股的子公司,是三星實現國產化戰略的重要棋子。細美事的前身是成立1993年的KDNS,2005年更為現名。

細美事是韓國最大的泛半導體設備廠商,包括半導體前後道設備、面板設備以及潔凈室自動化設備,主打產品包括清洗、刻蝕、勻膠設備。

2017年營業額約10.5億美元,排名全球第七,穩居韓國第一的寶座。公司營業額中有超過6成來自半導體設備。受益於三星的NAND產能的擴充,細美事近兩年營收增幅較大。

12、盛帆工程

公司成立於1988年,由三星宇航工業旗下的自動化部門分拆成立,致力於OLED和LCD、半導體、太陽電池製造用核心裝備,推動在韓國的本地化。同時也是一家自動化設備供應商。

13、首爾精密

1998年成立,從國立首爾大學分離;泛半導體設備廠商,主要產品覆蓋LCD, OLED、太陽能、半導體、光學檢測領域。2000年進入中國市場。2016年12月盛帆工程宣布收購首爾精密的部分股權成為其最大股東。

14、特翋半導體

2002年成立;主要產品有半導體熱處理設備,面板熱處理設備,太陽能MOCVD設備等。

15、泰軼斯

2002年9月成立;半導體及面板設備廠商,主要產品有半導體沉積設備(PECVD、LPCVD、MOCVD)、清洗,面板及太陽能設備。同時供應三星電子和SK海力士。

16、優測

半導體設備廠商,主要產品有半導體後道測試設備,存儲器模組測試設備實力較強。

2000年成立ISOA TECH Inc.;2002年9月更名;

17、元益IPS

元益集團旗下子公司,專註泛半導體設備製造,包括半導體、面板和太陽能相關設備。主要產品有PECVD、ALD、刻蝕等。

公司前身是成立於1991年的Korea ATTO Engineering. Co., Ltd.,2005年IPS成為股東,2011年更為現名。

韓國三星為保證技術不泄密,也入股圓益IPS。


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