我國首條硅光子研發中試線年內在滬建成

來源：內容來自解放日報，謝謝。

去年，上海市政府將硅光子列入首批市級重大專項，投入大量經費，布局硅基光互連晶元研發和生產。而今，很多業內人士感嘆，上海真是未雨綢繆，因為硅基光互連晶元是新一代通信晶元，國內通信企業已在這種器件上被卡了脖子。

記者近日從市科委獲悉，張江實驗室牽頭承擔的硅光子市級重大專項在工藝技術方面取得突破，具備了光晶元流片能力。預計今年年內，我國第一條硅光子研發中試線將在滬建成。這一專項志在上海打造硅光子晶元全產業鏈，掌握關鍵核心技術，讓國內企業擺脫對國外光晶元供應商的依賴。

構建全球硅光子研發中心

硅光子市級重大專項技術負責人、中科院上海微系統與信息技術研究所研究員餘明斌介紹，光晶元在全球方興未艾，正在逐步取代傳統的電晶元，成為通信晶元的主流。在晶元方寸之間，電傳輸為何會被光傳輸取代？他解釋說，大量電子在高密度電路里運動時，會使器件發熱，還會產生電磁損耗，這就影響了晶元的速度、功耗等性能。與之相比，光的運動要「輕盈」得多——速度全宇宙最快，運動時不產生熱量，而且多路光線能在同一個時空里運動並保持各自的獨立性，從而大幅節省信號傳輸通道。

正因為光的優越物理特性，在通信領域，光纜正在取代電纜；光晶元也開始取代電晶元，在硅基材料上實現光信號的傳輸。目前，光晶元的產業化尚處於早期階段，光晶元供應商在全球只有為數不多的幾家，全部在美國。

2015年，中科院院士、張江實驗室主任王曦了解到新加坡微電子研究院（IME）的硅光子研發情況。IME是與比利時微電子研究中心（IMEC）齊名的集成電路共性技術全球研發中心，這兩家單位都建有硅光子研發中試線，吸引各國研發機構和企業到那裡中試流片。那時，王曦有了一個構想：上海微技術工業研究院也要建一條硅光子研發中試線，成為全球的另一個研發中心。

市科委對這個構想進行論證後，提出上海要形成完整的硅基光互連晶元產業鏈，打造世界級硅光子基地。去年，硅光子被列入首批市級重大專項。

打造硅光子晶元全產業鏈

如今，我國第一條硅光子研發中試線正在緊鑼密鼓地建設。去年9月在上海嘉定區通線的8英寸「超越摩爾」研發中試線是其中一部分，另一部分的設備還在採購過程中。預計今年年內，「超越摩爾」研發中試線的硅光子設備將投入運行。所謂「超越摩爾」，是指非數字、多元化半導體技術與產品可以在成熟的工藝生產線上研發，無需遵循摩爾定律，即無需在工藝尺寸上越做越小。

時不我待，雖然一些設備還沒到位，但餘明斌早已開始帶領團隊研發配套的工藝技術。「設備是硬體，工藝技術可算是軟體。」餘明斌告訴記者，「在購買硬體過程中，我們要抓緊把軟體開發好。這樣硬體到位後，硅光子研發中試線就能立馬為客戶提供服務。」還有一個好消息是，他通過人脈關係找到了合作方，將一條工藝生產線用於開發光晶元。這條生產線已流片成功，正在為一些客戶服務。硅光子研發中試線通線後，上海微技術工研院將具備為大量客戶服務的能力。

上海市科委副主任干頻介紹，硅光子重大專項由張江實驗室牽頭，國內一批企業、高校和科研院所參與，通過擴展上海微技術工研院這一研發與轉化功能型平台的功能，突破硅基光互連晶元和器件的共性關鍵技術，從而吸引各方資源，力爭使上海成為硅基光電子這一戰略領域技術新發明、產業新方向的重要策源地。

「我們要在上海打造全產業鏈，包含晶元設計、製造、封裝、測試等各個環節。」餘明斌說。據透露，承擔重大專項產業鏈下遊子項目的上海企業都有銷售額指標，如上海圭博通信技術有限公司的指標是：替代進口硅光子晶元，年銷售額1億美元，成本、工藝優於傳統技術。對此，圭博公司項目團隊很有信心，因為全球光晶元市場方興未艾、供不應求，目前每片晶圓售價高達1.5萬美元以上，如果掌握了產業鏈的關鍵核心技術，就不必擔心市場業績。

除了通信，光晶元還能用於激光雷達、平行計算、大規模光開關、三維光電集成等具有巨大發展潛力的前沿項目，成為自動駕駛、新一代計算機、超高清電視等領域的核心部件。隨著硅光子市級重大專項的推進，上海有望湧現出一系列成果。王曦表示，專項團隊會通過建立高效的項目管理機制、加強戰略規劃研究、進一步開放協同等舉措，以全球視野實施重大專項，早日將上海打造成世界級硅光子基地。

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