硅變形誘導製造納米結構研究取得進展

近日，大連理工大學教授張振宇及其博士生王博、崔俊峰等在硅的變形誘導製造新型納米結構方面取得重要進展，相關研究發表於《納米通訊》。

目前的變形誘導方法主要是金剛石砧板、壓縮、劃擦、彎曲、納米壓痕和納米劃擦。但目前的變形誘導製造納米結構的方法與實際的加工速度相差3~10個量級。

針對這個難題，大連理工大學自行設計製造了刃口半徑為2.5微米、投影角為140.7°的單顆磨粒金剛石刀具，研製了單顆磨粒納米深度超精密磨削裝備，實現了磨削速度為40.2 米/秒的單顆磨粒納米深度超精密磨削試驗新方法，在切削深度為33 納米的時候加工出含有非晶、新的四方相、滑移帶、孿晶超晶格和單晶的新型納米結構。

新型納米結構的不同顯微結構具有不同的力學、電學和光學性能，在晶體管、IC、二極體、太陽能電池、能量存儲系統、MEMS和NEMS領域具有潛在應用價值，並為新型高性能器件與裝備的設計製造提供了新的思路。

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