中微半導體董事長尹志堯：晶元業靠全球集成的努力，一定要開門發展

【文/科工力量孫珷 隆洋】

中微半導體是國家集成電路產業基金（大基金）成立後投資的第一家公司，也是美國《確保美國在半導體產業的長期領導地位》報告中唯一提到名字的中國公司。2015年，因中微半導體開發的國產等離子體刻蝕設備達到世界先進水平，美國商務部解除了這類設備持續幾十年的出口管制。

日前，中微半導體創辦人之一、董事長尹志堯博士在辦公室中接受了觀察者網的採訪。尹志堯告訴觀察者網，任何國家都不可能將集成電路產業據為己有，集成電路是全球集成努力的結果。而亞洲已處在晶元技術和生產的前沿，75%的集成電路技術在亞洲開發出來，每年有75%以上新的晶元生產線在亞洲投產。一定要堅持開門發展，合作共贏。

同時他也表示，自己60歲回國創業，14年後才辦好中國綠卡。他認為，在吸引人才方面，要讓歸國工作的人員感到和國民同等待遇，還有很多工作要做。

問：卡脖子這個事情，是不是整個產業鏈都會被波及到？

也不一定。按照我對美國的人和美國政府的理解，他們不是像希特勒和東條那樣的流氓，他也不是完全不講道理，但他們要保護自己的利益，會採取他們認為可行的辦法。但往往他們認為可行的辦法，不一定是行得通的。

集成線路這個產業，從一開始就需要集成的努力，不是一個國家，或一種人種孤立的努力就可以開發出來的。

首先，在美國矽谷，50年來有成千上萬的各國精英共同努力，才把集成電路的技術和設備開發出來。比如最先進集成電路FinFet器件是華人，伯克利大學的胡正明教授發明的。很多半導體設備，包括等離子體刻蝕機，化學薄膜設備，物理濺射設備等，是在中國留學生的領導或主要參與下開發出來的。在我長期服務的應用材料公司就有66個國家的員工共同努力，把公司搞成國際第一的設備公司，總裁和很多副總裁都是外國人。

再有，過去的40年來，集成電路的技術和生產不斷向亞洲移動，現在有75%的技術是在亞洲開發出來的，有75%以上的生產線都建在亞洲。今年，中國的晶元廠投資佔到國際總投資的25%，和韓國並列國際第一。估計到2020年會增加到35%以上，是國際上這個產業發展最快的地區。而且晶元的市場亞洲也佔了很大一部分，只中國就占晶元市場將近50%。集成電路產業早已成為全球化的產業，是集成努力的結果，任何一個國家沒有權利稱這個產業是一國的財產，也沒有可能將這個產業據為己有。

具體來說，高通的東西，很多都是賣給中國。如果你要禁不讓他賣給中國，那麼首先讓美國的公司沒法活了，高通就很著急，趕快跟美國政府交涉，不讓禁運。有消息傳出，美國政府可能要對設備出口加強控制了，馬上美國設備公司股票就掉下來了。打了半天打在自己臉上，實在得不償失。美國的光刻機也是買別人的，使用的設備和材料也有很多不是自己做的，也要從國外買來。

集成的工業不能割裂開，所以我說那些主張對中國嚴加控制的人和國家領導是外行，搬起石頭砸自己的腳。中國也不能關起門來。過去就是因為我們關起門來，所以落後了。現在不能把門再關起來，美國要是關門我們就開門。而且現在晶元的真正的前端在台灣，在韓國，在日本，一點都不比美國差。中國大陸還差三四代，但是亞洲已經是晶元的前沿了。

問：聽說你的中國綠卡一直沒有拿到，是怎麼回事？

在中國辦綠卡有層層的限制和手續。我84年到矽谷英特爾工作後，只是一個外籍工程師，辦綠卡三個月就辦好了。但我回國後，作為一個公司的董事長和總裁，我花了13年還沒有辦好，當然，最近在辦綠卡上放寬了很多，才剛剛辦好。但公司回來工作的十幾年中，也只有十分之一的人辦好了綠卡。其中很重要的一個證明是無犯罪記錄證明。要辦這個證明，要到美國的公安局去，然後拿到加州州政府去，要走兩個辦公室簽字，然後把三個簽字簽好，要送到舊金山領事館，還要等一個星期到兩個星期。所以很多人工作很忙，沒有那麼多時間在美國等著拿一個無犯罪記錄。

在人才的吸引方面，還有很多所謂和國人同等待遇，和當地居民同等待遇的政策問題需要解決。比如房屋限購問題，外國人購買股票問題，孩子上學問題，一系列保險問題，甚至坐火車領票，到政府機關的通行等問題。要讓被吸引歸國工作的人員感到和國民同等待遇還需要一系列的努力。

問：網上說法稱，80年代到90年代，中國半導體開始落後，準確嗎？

其實美國在50年代半導體二極體，三極體等器件就產業化了。我國在60年也已有這個產業。美國60年代後期集成電路技術就起步了，到70年代初期，像英特爾公司已做出集成電路的器件，成為產品出售。我國的這個產業一開始就有差距，但確實是八九十年代中國和國外的差距越來越大。特別是在上世紀六七十年代，也是國際集成電路發展最快的十年，我們的相關產業完全停止下來。其實美國、日本的晶元生產就是八九十年代這20年實現了大發展，將這個產業推向成熟。

問：主要原因還是國外發展得太快了？

封閉，當然封閉不完全是我們的問題。但我們自己有個問題，就是認為別人都是資本主義，不值得學習，我們是最好。其實不應該是這樣。人家有先進的地方要學習，我們有我們的優勢要保持和發揚。應該取長補短，互相之間這個政治壁壘太多，就造成了經濟上的隔絕斷代。後來鄧小平就針對這個問題，搞改革開放，向國外學習，使我們的產業發展急速的趕上。

問：像您說的，不要把技術上升總是提高到政治層面來討論，但是中興事件後，有些人認為，我們中國就是要所有的技術都要掌握，你怎麼看？

中興的事件，是由於他們對美國政府承諾的事沒有做，違反了美國的法律和規章。美國政府採取了制裁，這本來是一個孤立事件。就像美國高通由於違反中國的規章被中國政府制裁罰款一樣，高通的事件並沒有上升到兩個國家政府的對抗。我們很多公司是搞國際業務的，是要成為國際化的公司的，華為，中興通訊，中芯國際，中微半導體設備等等都是這樣。我們既然要國際化，既然要到各國發展業務，就要遵守各國的法律和規章制度，這就和在中國就要遵守中國的法律和規章制度一樣。只要做到了，就不會引來官司，就會立於不敗之地。

如果沒有違反法律，還是受到制裁，那個國家就一定是流氓國家。中微在過去11年輪番受到美國設備大公司的法律訴訟，但我們由於有堅固的知識產權防線，完全遵守美國和各國知識產權法律，一直處於不敗之地。而且美國商務部在2015年宣布，由於在中國已有一個非美國的設備公司做出了和美國設備公司有相同質量和相當數量的等離子體刻蝕機，所以取消了對中國的刻蝕機的出口管制。

我的看法是這樣的。這是個策略問題。在革命戰爭時期，毛澤東和王明最大的爭論，是毛澤東認為打得贏就打，打不贏就走。王明卻認為要硬頂硬拼，禦敵人於國門之外。在目前情況下，不要把什麼事情都提高到政治高度，硬頂對我們並不利，這樣能通過協商解決的問題，反而解決不了。

其實美國政府是可以通過協商解決的，兩方高層也在談。

問：有人說，其實大公司都有自己見不得人的地方。

我不同意。我們公司就是非常透明，非常守法，表裡如一的，所以你怎麼都打不倒我。

問：這次網上對中微誇大宣傳的問題，你還有什麼想說的？

我想講一下誇大宣傳問題。集成電路是一個全世界所有的精英一起來奮鬥這麼幾十年，創造出來一個集成的技術，在這裡千萬不要老是宣傳個人。我覺得我最大的困擾是，每次我對來採訪的記者反覆強調，要宣傳團隊的作用，但搞來搞去還是突出個人，這樣一種宣傳，不符合實際，也無助於產業發展。中微不是我一個人創立的，當初從美國回到中國的創業團隊有15個人，如公司資深副總杜志游博士，公司副總倪圖強博士。後來加入的全球業務副總朱新萍等人，加上陸續加入的技術和管理專家160多人，有積累的30年的設備開發和管理經驗，還有多年培養的國內員工400多人，中微今日的成就，是所有人的共同努力。我們實行了一個真正的具有中微特色的社會主義的制度。每個員工都有中微的股票或期權，每級差只有20%，我在公司的股份不到1%。每級員工的薪金差為10%，我也不例外。正是這樣的制度使全體員工都把自己當作公司的主人，團結奮鬥，使公司高速發展。前五年，我們保持了35%的年銷售增長，這兩年超過了50%。

網上傳的說當國際大腕還在開發10納米和7納米器件時，中微已宣布率先搞定5納米技術。寫這個文章的人把晶元器件和設備混淆起來，為吸引眼球，誇大宣傳，這種文風一定要糾正的。我們的設備性能是很好，可以加工5納米器件，而且我們有雙台機的設計，國外都是一次加工一片，我們有一個很巧妙的設計，一次可以加工兩片，輸出量大，成本低。但是只靠刻蝕機是做不出器件的。其實我們不做器件，我們只做設備，然後像台積電、中芯國際買我們的設備去製造晶元的才是龍頭企業，要十種不同的設備混合作戰，當然刻蝕機是除光刻機以外最關鍵的設備。

5月份，一些自媒體文章曾讓尹志堯不堪其擾，被迫回擊

網上的某些報導稱，當年我和同事從美國回中國創業，被美國當局清查了電腦，沒收了所有的600萬件文件，是渲染不實的報道，完全沒有這件事，是把商業競爭不必要的提高到政治和國家層面所產生的副作用。

事實是，在我們回國後三年，開發出很有競爭力的等離子體刻蝕機，即將進入國際最先進的生產線的時候，我們的老東家，美國應材在美國聯邦法院告我們竊取了該公司的商業機密。在美國，這種情況狀告別人不需要證據，但被告要證明自己的清白。中微聘請了美國一流的知識產權訴訟律師，花了兩年半的時間，徹查了中微600多萬件文件和30多人的電腦和文件，沒有找到關於應材的圖紙，技術數據和商業機密，這個訴訟最終得到和解。

這個網站的無根據的誇大報道， 就是一個典型的將商業的糾紛， 毫無根據的上升到政治和國家層面，造成負面作用的例子。

問：受眾喜歡聽英雄的故事。

集成線路和別的不一樣，一個教授你可以是英雄，拿諾貝爾獎。可是我們這個不行，是千百萬人的集合行動，這是客觀的事實。不能把它有意地誇大到個人身上去。

問：就不存在一個領軍人？

當然有領軍人物。但你可以看到，凡是非常成功的高技術公司，都有不止一個領軍人，而是幾個人組成了一個堅強的領軍團隊。而且有一大批中高層的能幹的技術和管理精英。是一批人，而不是一個人。高科技，以研發為驅動力的公司，不像一個低檔生產的公司，老闆出幾個億的錢，招了五六個高管，然後就是幾百幾千個藍領工人可以做。我們公司是以研發為驅動的公司，就是每一級都有它不可或缺的獨特作用。

比如現在國家公布了關於國企可以有期權的政策，但是只能有1/3的僱員有期權，這對於高科技的公司是不適用的。如果只是主任級以上有期權，而在創新研發第一線的工程師和管理人員，沒有有效的激勵，這些員工要走了，你能幹什麼？真正在發明創造的是每天在實驗室里奮鬥的工程師和經理。

問：我特別同意你的觀點，但網上有人說如果中國半導體要有希望，就要像當年錢學森他們那些人回來，未來我們需要海外的幾個領軍人才，以英雄主義的方式帶領中國集成電路，這樣才能搞上來。

不那麼簡單。一般的科學技術都不是那樣。錢學森在開發我國火箭技術過程中的確起到關鍵的作用。但是沒有政府這麼多級領導的支持，沒有國家的經濟實力的支持，沒有成千上萬的工人和技術人員奮鬥在第一線，就靠錢學森等少數幾個科學家，能做出什麼？錢學森是我62年進入的中國科大化學物理系的系主任。

問：國內似乎也有不少這種宣傳。

美國也是一樣，說個人可以拯救全世界，帶頭宣傳個人英雄主義。那中國人就要學美國？不要學，要實事求是。不要只宣傳個人，要著重宣傳集體，特別是集成電路產業需要集成的努力!

另外一個不要太突出產業鏈上某一個環節。因為每個環節都很重要，雖然我可以「在商言商」，宣傳我們這個等離子體刻蝕機如何如何，但是僅有刻蝕機，沒有化學薄膜，沒有光刻機，沒有工藝集成又怎麼樣，什麼器件也做不出來！

問：那您認為中國應該所有的這些技術都要都掌握嗎？

現在中國在集成電路前段和後段相關設備和材料公司有30多個，幾乎所有的設備行業都有涵蓋。除了美國之外只有中國有這個能力。中國有這種基礎，但大多數設備還都是不夠成熟的。國產設備已經有十幾種的設備可以加工40納米的器件，有些已可以加工28納米器件了。kai

封裝幾乎90%以上設備可以國產，這已經很了不起了。再有十年的時間，就會好很多了。但我們要實事求是，不要強調某一個公司在整個產業鏈的作用那麼重要。

宣傳要實事求是，不要誇大，更不要為吸引眼球，無中生有，無限上綱。說我們的刻蝕機可以加工5納米器件，也只是100多個刻蝕步驟中的幾步，我可以講，但是不能說我們就可以把整個晶元做出來，這不是事實，對吧？

最後我建議，凡是在網上傳的文章，一定要他所敘述的那個人和那個公司本人要看過。許可你發表才能發表，要說實話。但是一些個人在網上發的，有造輿論嫌疑的，這種人是沒有道德的，是不對的。因為他根本就沒跟我談過，也沒有到我們公司了解生產情況，就是東拉西扯，然後再憑他自己的想像編造故事。作用很壞。

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