Entegris光罩盒通過ASML認證，可用於EUV

來源：內容來自科技新報，謝謝。

微電子產業特種化學品和材料解決方案廠商英特格 （Entegris） 宣布，新一代的光罩盒已獲得半導體生產設備商艾司摩爾 （ASML） 的認證，可用於極紫外光 （EUV） 微影技術的晶元大量生產上，用以保護在製造過程中光罩的完整。

英格爾表示，日前公司正式發布了下一代 EUV 1010 光罩盒，可用於以 EUV 微影技術進行大量生產的半導體製造上。英特格進一步指出，EUV 1010 光罩盒是透過與全球最大晶元生產設備製造商之一的 ASML 密切合作而開發的，已率先成為全世界第一個獲得 ASML 的認證，可用於 NXE:3400B 以及未來更先進機台上的光罩盒產品。

英特格還表示，隨著半導體產業開始大量使用 EUV 微影技術進行先進技術節點的大量製造，保持 EUV 光罩無缺陷的要求比以往任何時候都要高。因此，英特格的 EUV 1010光 罩盒已經通過 ASML 全面認證，可用於他們的最新一代 EUV 微影機，並展現對的 EUV 光罩保護能力，這其中還包括了解決最關鍵的粒子污染挑戰。因此，英特格的 EUV 1010 光罩盒也因此讓客戶能夠順利地使用這最先進的微影製程，來製造出產品所需的越來越小線寬。

而為了在 ASML 的 NXE:3400B 微影機中實現這些性能水準，英特格開發出使用於接觸光罩和控制環境上的新型技術。英特格晶圓和光罩處理副總裁 Paul Magoon 表示，EUV 1010 代表了英特格的產品在改進缺陷率方面的重大突破，使得為先進技術節點實施的客戶，可以專註於提高效率和產量。而且，與 ASML 的共同開發和測試，也確保 EUV 1010 可符合最先進的 EUV 微影機的要求。

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