關乎國家安全和國防！造出自主可控的「中國芯」需要啥裝備？

資料圖：晶元

資料圖：晶元生產線

資料圖：人工智慧

【環球網軍事報道】自主可控的「中國芯」是近來備受關注的話題，它直接關係到從日常電子產品到國防安全和科技前沿的方方面面。然而要製造出這樣的「中國芯」，到底需要什麼呢？中國電子科技集團有限公司（中國電科）近日在北京舉辦的集成電路核心裝備展上公布了離子注入機、化學機械拋光設備等一系列用於晶元製造的母機。相關人士告訴《環球時報》記者，只有將這些擁有完全自主知識產權的晶元製造設備掌握在自己手裡，才能擺脫國外的各種制約。

集成電路晶元及其製造技術是信息時代的基石，是保障國家安全和國防建設的戰略性資源。電科裝備離子注入機研發團隊技術總監張叢告訴《環球時報》記者，當前自主可控「中國芯」的重要性已受到越來越多的重視，但很多人還沒意識到「中國芯」的製造設備也需要自主可控。事實上，此前晶元的製造設備基本被控制在極少數國外企業手中，就連英特爾等晶元巨頭的生產線也得仰仗這些上游供應商。對於中國晶元製造行業而言，這些國外企業不但掌握著對華出口相關設備的定價權，而且還能控制向中國出口設備的技術水準。「如果說國外技術已經發展到第三代，但只願意向中國提供第一代的設備，那我們就沒法用哪怕是第二代的設備來生產晶元。」此外，由於國外企業對晶元生產設備的嚴格控制，這些先進設備也無法用於航天、軍用等領域的晶元製造上。

這些因素促使我國加快集成電路關鍵裝備的自主研製和生產能力。張叢介紹說，近年我國掌握第二代晶元製造設備的技術後，國外不但大幅降低第一代晶元製造設備的引進價格，而且還批准了第二代設備的對華出口。目前電科自主研發的多台12英寸離子注入機進入北京中芯國際生產線量產，量產工藝覆蓋至28納米。由於半導體行業是典型的技術密集型和資金密集型，自主掌握晶元製造設備的技術後，無論是繼續引進國外設備，還是選擇國產設備，可以說整個行業都受益匪淺。

張叢也坦承，中國目前在該領域與國際先進水平存在相當差距，部分重要設備還需要技術攻關。但他認為，對於中國而言，掌握自主可控的晶元和晶元製造設備必不可少，這需要社會給予更多支持。（馬 俊）

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