上海松江區集成電路完整產業鏈初步形成

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據松江區消息：隨著上海超硅半導體有限公司300毫米全自動智能化生產線項目日前在松江經濟技術開發區開工，松江區在積極構建世界集成電路產業高地的道路上又邁出了重要一步。據了解，該項目建成後預計可年產360萬片300毫米拋光矽片和外延片，以及12萬片450毫米拋光矽片。據統計，今年上半年，區內相關企業共生產集成電路產品64.5萬片。

超純晶元銅互連電鍍液產品實現大批量生產並替代美國同類產品，300毫米拋光矽片國產化填補國內產能空白，上海本地研發、設計的首款人工智慧晶元在松江發布……區科委相關負責人分析稱，隨著一項項科技成果在G60科創走廊湧現，目前松江在集成電路行業已初步形成了從設計、製造到封裝測試，材料和設備都較為完整的產業鏈。

集成電路，也就是人們常說的晶元，被譽為現代工業的「糧食」，是信息技術產業的核心，其產業技術的發展直接關係到電子工業的發展水平。在上海正全力打造國內最完備、技術最先進、最具競爭力的集成電路產業體系的背景下，G60科創走廊上的松江企業也緊抓機遇，大力研發與主導產業相融合、有巨大市場需求的晶元製造關鍵材料，用核心技術成果不斷擦亮「上海製造」的品牌名片。

晶元關鍵材料「松江製造」

始終對標國際集成電路產業最高水平的上海超硅半導體有限公司，近年來不斷取得令人矚目的科創成果。公司2008年在松江成立，擁有世界一流的人才團隊和核心技術，獨立開發的集成電路用大尺寸拋光矽片具有完全自主知識產權，其研發生產的300毫米拋光矽片填補了國內產能的空白，打破了大尺寸矽片材料晶體生長技術及主要設備製造的國際壟斷。上海超硅公司相關負責人介紹，公司計劃在2至5年內以300毫米矽片規模化生產為突破點，5至7年內以450毫米矽片規模化生產為制高點，10年內實現300毫米矽片產能達到50萬片/月、450毫米矽片產能達到30萬片/月，佔全球市場份額的15%～20%，成為與日本信越、SUMCO並駕齊驅的世界一流企業。

作為一家立足於自主創新的半導體材料供應商，上海新陽半導體材料股份有限公司2004年成立於松江。公司從創立之初就以打破國際壟斷為目標，啟動國家科技部專項支持的「65-45nm晶元銅互連超高純電鍍液及添加劑研發和產業化」項目。公司相關負責人告訴記者：「本項目實施以前，此類材料全球只有一兩家供應商能夠提供，我國集成電路製造企業所需材料完全依賴進口。」

在項目負責人孫江燕、首席專家王溯的帶領下，項目團隊十年磨一劍，連續攻克了產品金屬雜質、總有機碳、溶液中顆粒去除等難題，項目於2015年底通過科技部專項驗收，項目成果超純晶元銅互連電鍍液產品實現了大批量生產，成功替代美國同類產品，目前已累計實現銷售額逾8000萬元。在成功申報高新技術企業和科技小巨人企業後，近兩年，新陽半導體又相繼獲得了上海市專利工作示範企業、國家知識產權優勢企業稱號，並獲張江國家自主創新示範區專項發展資金扶持，企業技術研發和科技創新能力不斷增強。

在智慧晶元研發及製造領域，G60科創企業始終堅持使命擔當，不斷致力於攻克行業發展難題，為全球晶元產業技術更新貢獻中國智慧。晶元級封裝的產品在客戶實際應用中，經常因為強度不夠發生開裂。對此，位於松江經濟技術開發區的尼西半導體科技（上海）有限公司經過努力攻關，掌握了全球最新技術，大幅提升了產品的強度，使得產品的彎曲斷裂強度由市場主流產品的3牛頓提升到10牛頓左右。作為一家致力於半導體集成電路及相關電子產品研發、設計與工藝開發的科技型企業，尼西半導體還憑藉持續不斷的創新研發，在多晶元方案整合、產品尺寸小型化、提高產品能量轉換效率等方面佔據了行業技術核心位置。

完整產業鏈添高端新成果

一次次瞄準技術前沿，一次次打破國際壟斷。顯然，隨著G60科創走廊建設的不斷深化，松江企業已經將在晶元製造領域佔領主導地位確定為自身的發展方向。

「面對發達國家的技術封鎖，我國自行發展晶元核心技術，發展自己強大的晶元產業勢在必行，這對G60科創走廊上的松江企業來說，既是挑戰，也是機遇，不少企業都表示要在科技創新的過程中切實承擔應有的社會責任，為集成電路產業實現中國製造貢獻力量。」區科委相關負責人說。

上海博康精細化工有限公司在創立之初，就將國內集成電路產業中最大的短板、也是最核心的技術——光刻作為研發方向。經過多年努力，如今，博康已經成為中國唯一的中高端光刻膠材料研發和規模化生產企業，其掌握的全球頂尖光刻技術標誌著我國加入了高端先導工藝研發的國際俱樂部。去年落戶G60科創走廊後，公司董事長傅志偉對博康未來的發展信心滿滿，他說：「博康的發展一是源於使命，二是始終致力創新，我們將堅定不移地走聚力創新之路，帶動整個中國光刻產業的發展，打造世界級的光刻產業集團。」今年，博康的訂單有望突破2億元。此外，佔地85畝的集成電路裝備科技園也已破土動工，正在加緊建設一個全球先進光刻設備銷售服務中心。

去年底，華夏芯（北京）通用處理器有限公司在松江對外發布了多核SoC晶元平台——北極星。據悉，這是國內首次發布具有自主知識產權的人工智慧平台型晶元，也是上海本地研發、設計的首款人工智慧晶元，不僅打破了國外壟斷，還初步實現了產業化，再次為建設和完善我國自主可控的人工智慧產業鏈添上了重要一筆。

「為了給落地G60科創走廊的集成電路相關企業營造良好的科創氛圍，在高新技術企業、科技小巨人企業、高新技術成果轉化項目、張江專項、創新資金等申報上，松江區尤其注重對晶元製造相關企業的挖掘和培育。」區科委相關負責人說。統計數據顯示，去年，全區規模以上工業產品中，集成電路產品達145萬片，同比增長21.8%。

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