ASML看好中國市場：最先進光刻機很快將入華

中國集成電路製造年會近日邀請到了光刻機霸主ASML（阿斯麥）中國區總裁沈波參加，他出面解答了一些媒體關心的話題。

儘管UMC（聯電）和Globalfoundries（格羅方德，格芯）先後宣布放棄7nm製程及更先進工藝的研發，但ASML依然對EUV光刻機的前景表示樂觀。

此前有消息指出，中芯國際（SMIC）今年已向ASML訂購了一台EUV光刻機，預計明年交付，用於7nm節點。

同時，傳統的沉浸式光刻機方面，沈波稱，今年下半年ASML已開始出貨家族最先進的NXT:2000i，很快會在中國市場上也見到。

另外，媒體早先有報道稱，長江存儲、上海華虹半導體分別向ASML訂購了193納米浸沒式光刻機和193納米雙工件台沉浸式光刻機NXT:1980Di，分別用於存儲晶元製造、晶圓代工。

據悉，ASML今年一二季度的財報顯示，大陸市場的銷售收入佔比達到了20%左右，已與美國持平，且超過了台灣地區。

ASML今年的EUV光刻機產能將達到20台，明後兩年將逐步提升到40台。

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