基於空間光調製器的飛秒激光雙模式快速加工

飛秒激光雙光子聚合加工技術具有高精度、真三維、工藝簡單等特色，可以實現解析度突破光學衍射極限的微納米三維結構的列印，被廣泛用於聚合物、有機-無機混合材料、生物相容材料的加工。

但是該加工技術基於逐點格柵掃描的加工模式加工效率較低，限制了其進一步應用。中國科學技術大學精微納米工程實驗室吳東教授課題組針對此做出了研究。

圖1 圖(a)(b)(c)為SLM生成圖形化光場，(d)(e)(f)為時域平均後的圖形化光場

圖2 SLM控制單點掃描得到的里約奧運會LOGO

圖形化光場投影加工雖然可以快速加工二維微納米結構，通過對閃耀光柵和球面波因子函數的編碼排序，實現了飛秒激光焦點沿著預設的三維路線上的可控掃描加工，並對掃描工藝參數進行了定量化研究，從而實現了三維結構的單點掃描加工（如圖2）。

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