「戰略性先進電子材料」重點專項「聲表面波材料與器件」項目在聲表面波材料與濾波器件 ……

近日，科技部高技術中心「戰略性先進電子材料」重點專項管理辦公室組織專家在無錫對國家重點研發計劃專項「聲表面波材料與器件」項目進行了現場中期檢查。專家組聽取了項目組工作彙報，現場觀看了樣品和研發生產現場，一致認為項目全面完成了任務書規定的中期研發內容和考核指標，在成果應用方面取得重要進展。

該項目主要面對物聯網等領域的高性能無源感測器的需求，實現其在複雜環境和極端環境的多類型感測器集成應用；研發應用於4G、5G移動通訊終端濾波器的高性能壓電單晶襯底材料和換能器材料，實現高世代聲表面波濾波器的關鍵技術集成，建立高性能濾波器示範生產線。項目進行到中期，研發出了多種具有強（111）織構的高性能Al/Ti（Ni）多層結構換能器材料，使濾波器功率耐受性提升至35dBm；設計並製備出了大帶寬、低插損、小帶內波動的濾波器；聲表面波器件體積減小至1.1×0.9×0.45mm³; 同時建立了自主知識產權的聲表面波材料與濾波器生產線，實現了濾波器的小批量生產。

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