中國研製出可加工22納米晶元的光刻機 未來可用於10納米級別晶元

中國關鍵核心技術在獲重大突破近日，國家重大科研裝備研製項目「超分辨光刻裝備研製」通過驗收。該光刻機由中國科學院光電技術研究所研製，光刻分辨力達到22納米，結合雙重曝光技術後，未來還可用於製造10納米級別的晶元。該項目建立了一條高分辨、大面積的納米光刻裝備研發新路線，繞過國外相關知識產權壁壘，具有完全自主知識產權。

今年以來，我國在晶元領域接連傳來好消息。2018年8月31日，華為發布了新一代頂級人工智慧手機晶元——麒麟980，麒麟980創造了多個世界第一。另外華為還發布了自研雲端AI晶元「昇騰（Ascend ）」系列，首批推出7nm的昇騰910以及12nm的昇騰310。其中，昇騰910是目前單晶元計算密度最大的晶元，計算力遠超谷歌和英偉達。 近日，江蘇華存發布了我國第一顆國研國造的嵌入式40納米工規級別存儲控制晶元及應用存儲解決方案：HC5001，這意味著我國在中高階eMMC存儲領域有了第一顆「中國芯」，並實現了量產。此次發布的主控晶元兼具高兼容性和高穩定度，支持第5.1版內嵌式存儲器標淮(eMMC5.1)、支持立體結構快閃記憶體材料(3D TLC NAND Flash)、支持隨機讀出寫入快閃記憶體高穩定度效能演算法（FTL）、支持高速快閃記憶體介面（ONFI3.2/ToggIe2.0）、支持高可靠度低密度奇偶校驗碼糾錯驗演算法(LDPC)，以及40nm工藝製程滿足了高效能低功耗工規級別eMMC嵌入式存儲裝置需求。

此前據相關報道，中國電科38所面向封裝檢測行業急需，自主研製了國內首個具有完全自主知識產權的高端微焦點X射線成像系統—超級針X射線成像系統。據悉，超級針X射線成像系統性能可媲美國際最先進產品，系統解析度小於1微米，同等解析度下，對比度是國外產品的3倍以上，成像更清晰，檢測更可靠，使其具有「火眼金睛」般的缺陷檢測能力，讓缺陷無所遁形。此外，超級針X射線成像系統還具備強大的低能成像能力，使其在輕元素材料精密檢測方面優勢突出，遠超國外同類產品，填補國際空白。中國電科38所相關負責人表示，超級針X射線成像系統為國際首創。

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