ASML供應商突遭火災，明年初的EUV光刻機交貨將延期

最近中科院研發成功紫外超分辨光刻機的消息刷屏了，使用365nm波長就能實現單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，這個技術水平在光刻機中是很了不起的，做到了SP表面等離子體超衍射光刻機的極致，而且價格只有1000-2000萬元，不過中科院的SP光刻機並不能取代ASML的光刻機，二者的用途並不一樣，晶圓廠製造半導體晶元依然離不開ASML的光刻機。今天台積電、三星等公司要心驚一下了，因為ASML光刻機交貨遇到問題了，ASML元件供應商Prodrive突遭大火，導致部分生產線及庫存被毀，將影響2019年初ASML光刻機的交付日期，不過今年內的ASML光刻機交付不受影響。

來自路透社的消息稱，ASML周一宣布其供應商Prodrive上周六遭遇火災，摧毀了Prodrive公司部分生產線及庫存，ASML公司正在尋找其他供應來源，並幫助Prodrive儘快重啟生產。ASML首席執行官兼總裁Peter Wennink在一份聲明中表示：「我們希望Prodrive的管理層和員工在恢復生產過程中一切順利，並儘可能地為他們提供支持。」

供應商遭遇火災導致產能及庫存受損，這對ASML的光刻機交付也會產生影響，ASML公司表示今年內的光刻機交付不會有任何變化，需要幾周時間來評估這次危機對他們業務的整體影響。隨後ASML更新的聲明中強調雖然2018年的光刻機訂單交付沒問題，但是2019年初的ASML光刻機會延期交付，但延期多久上尚無消息。

根據ASML公司早前財報中的消息，Q3季度ASML出貨了5台EUV光刻機，上個季度出貨7台EUV光刻機，預計Q4季度出貨6台EUV光刻機，全年出貨的數量將達到18台，而2019年EUV光刻機預計出貨數量達到30台。

ASML的EUV光刻機大客戶除了三星、台積電及英特爾之外，國內的中芯國際SMIC今年也訂購了一台EUV光刻機，預計會在明年初交付，不過中芯國際訂購的EUV光刻機主要用於技術研發，短時間內並沒有量產EUV工藝的需求，延期交付對中芯國際的影響並不大。

相比較而言，2019年初延期交付的EUV光刻機對台積電、三星的影響更大，不過這也取決於ASML受到Prodrive火災的影響有多大，目前具體的災害損失還沒有結果。

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