美帝白慌了！國產光刻機還沒來！

歷史會記住2018年12月1日。

君臨介紹過，這一天對於華為和中國的5G產業可能會產生深遠影響。

其實這一天，還發生了一件事，可能會在未來一年影響一個行業。

12月1日，世界最大光刻機廠家荷蘭ASML（阿斯麥）的「最佳供應商」Prodrive（浦卓科技）著火了。

ASML向外公告，2019年年初的設備供應可能得延後。

按照計劃，ASML在明年初會向中國最大的晶元製造廠家中芯國際（00981.HK）供應一台目前世界上最先進的EUV光刻機。

這台光刻機是中芯國際2017年花了1.2億美元買的，要知道中芯國際2017年全年的凈利潤也不過1.2億美元。

中芯國際剛剛在14nm製程上取得了突破，如果EUV光刻機順利進廠，不能說短期內就上天了，但至少有助於提升良率。

偏偏這時候來一場火。

但願不會影響到ASML對中芯國際的供貨。

Prodrive著火的事兒跟華為mwz被捕、張教授自殺都是在12月1日發生、12月3日被曝光。

有時候世界就是這麼神奇。

而就在Prodrive著火的前兩天，也就是11月29日，中科院光電研究所研發的新式光刻機通過驗收。

這一下刷屏了！

不明真相的群眾怒贊中國已經擁有了世界超一流水準的光刻機！

大躍進時期敲鑼打鼓的景象躍然紙上。

其實，中科院的這台光刻機距離製造晶元還有好幾個十萬八千里，我們要看到進步，但不宜妄自吹噓。

搞不好就是吹得太厲害，嚇尿了外國人，才放火去燒了ASML的供應商，間接限制我們。

這種無腦的報道，最終傷害的是國內半導體從業者。

中微半導體的創始人尹志堯博士曾表態：

「那些人不懂半導體，把產業上升到政治高度，誇大宣傳讓中微半導體非常被動。」

他們聳人聽聞地講尹博士回國，美國人慌了。

這讓中微很頭痛。

今天，不吹不黑，君臨為君友梳理一番中國半導體設備領域的情況，是坑你別跳，是機會你別錯過。

君臨有一個願望，讓君友成為最懂產業鏈的投資者。

1

根據SEMI（國際半導體產業協會）的數據，2017年全球半導體設備銷售收入566.2億美元，

根據Gartner的數據，2017年全球半導體行業收入4197億美元，也就是說半導體設備約佔半導體總市場的13.5%。

（不同機構給出的市場規模數據不一致，但相差一般不大，數據偏差不影響定性）

其中，中國半導體設備銷售收入為82.3億美元，約佔全球市場的14.54%。

SEMI在12月12日，還給出了年終預測，預計2018年半導體設備全球銷售額達到620.9億美元，同比增長9.66％，中國半導體設備將達到128.2億美元，大漲55.77%。

數據來源：SEMI，君臨研究院

上半年，中國內地還超越台灣，成為僅次於韓國的第二大半導體設備市場。

數據來源：SEMI，君臨研究院

君臨注意到，在2018年7月初，SEMI做的年中預測認為2018年全球半導體設備市場為627.3億美元，中國市場為118.1億美元。

顯然，中國市場表現要優於早先預期，而全球市場的表現，則弱於早前預期。

對比過去幾年中國和其他地區半導體設備市場的表現，可以發現，中國市場多年來保持穩步上升。

數據來源：SEMI，君臨研究院

曾經的半導體設備第一市場，中國台灣，這兩年表現不佳；目前的半導體設備第一市場，韓國，大起大落；其他地區與中國差距很大。

根據SEMI最新的數據統計，第三季度，中國暫時超過韓國成為全球第一大半導體設備市場，我們不確定年底花落誰家。

晶元的製造是一個極為複雜的工程，用的設備也非常多。

圖片來源：網路

其中，晶元加工製造設備是大頭， 2018年將達到502億美元，同比增長10.2%，佔比80.85%；

接下來是測試設備，2018年將達到54億美元，同比增長15.6%，佔比8.7%；

然後是封裝設備，2018年將達到40億美元，同比增長1.9%，佔比6.44%；

最後是矽片加工製造、掩膜相關的設備以及其他設備，2018年將達到25億美元，同比增長0.9%，佔比4.03%。

數據來源：SEMI，君臨研究院

在晶元製造設備中，又主要分為光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕機等幾類。

數據來源：Global Foundries，

IC Insights預計2018年全球集成電路產業的資本開支將首次超過1000億美元，達到1020億美元，預計同比增長9.32%。

中國將達到110億美元，約佔全球的10.78％，超過日本和歐洲之和。

數據來源：IC Insights

SEMI數據，過去兩年間全球新建了17座12寸晶圓廠，其中10 座位於大陸；2017年到2020 年，預計全球新增半導體生產線62 條，其中26條位於大陸，佔比42%。

2

我們現在知道了，半導體設備是個很大的市場，中國的市場表現更是冠絕全球，那麼中國公司的表現如何呢？

不咋地。

2016年，國內前十大半導體設備企業總收入約47.57億人民幣，佔國內設備市場份額11.71%，佔全球市場份額不到2%。

即便是國內銷售規模最大的中電科電子裝備集團有限公司，2016年在國內市場的佔有率不過2.28%。

世界最大的半導體設備公司美國應用材料2017年的收入是145.37億美元，咱們國家所有半導體設備公司加起來不及它的零頭。

半導體設備在各個細分領域，前三家企業都幾乎佔據90%以上的市場份額。

一家國內企業能在國內市場佔有率達到0.5%就算很優秀的企業了。

僅有的份額還大多集中在低端、國外巨頭玩剩下的領域，要麼就是在泛集成電路領域，比如光伏、LED領域。

咱們的半導體跟人家比確實差。

2018年12月11-13日，上海張江邊上的上海新國際博覽中心剛剛舉辦完了首屆全球IC企業家大會暨第十六屆中國國際半導體博覽會。

會上，紫光集團的一位高管也很委婉地說我們在存儲晶元領域的國產化率比較低，有多低呢？

基本是零。

但是，關鍵來了，有差距才會有突破，也才會有更大的機會！

紫光32層的3D-快閃記憶體晶元不也突破了嗎！我們不也有自己的U盤和內存條了嗎！

光腳的不怕穿鞋的，就是干！

我們在半導體設備的一些細分領域並非一無是處，現在就捋一捋重點企業。有些不是上市公司，但有助於我們理解行業概況。

3

一、中電科電子裝備集團有限公司

簡稱中電科電子裝備。這家公司的母公司是中國電子科技集團公司（簡稱中電科），是由中電科旗下的三家國家級研究所2所、45所、48所組成。

中電科是中國十大軍工集團之一，也是國內唯一覆蓋電子信息技術全領域的大型科技集團。

他有家大名鼎鼎的孫公司，叫海康威視（002415）。

他旗下還有其他7家上市公司：

國睿科技（600562）、傑賽科技（002544）、太極股份（002368）、衛士通（002268）、四創電子（600990）、華東電腦（600850）、鳳凰光學（600071）。

2018年8月1日，美國商務部正式以國家安全和外交利益為由，將44家中國企業（8個實體和36個附屬機構）列入出口管制實體清單。

中電科旗下共有4家研究所和28家附屬機構被美帝限制出口。

這足以說明他的牛逼。

中電科上了美帝黑名單，也間接給海康威視等股票帶來了利空。

也因為有這樣的母公司，中電科電子裝備表現很強悍，很長一段時間他是國內半導體設備的扛把子，產品以全面著稱。

從前道的離子注入機、拋光設備、電化學沉積設備、光刻機等產品，到後道的劃片機、減薄機、倒裝鍵合設備等產品都有。

它最關鍵的兩個設備是離子注入機和CMP（化學機械拋光機）。

離子注入機是晶元製造核心裝備之一，用於摻雜，形成PN結等晶元最基本單元。

中電科電子裝備的離子注入機已經進入中芯國際的12英寸晶圓生產線，並且已經在中芯國際的生產線上參與制造超過100萬片晶圓！

其離子注入機技術覆蓋90nm、65nm、45nm、28nm工藝節點，年產50台，現在有超過10台設備在中芯國際的生產線上開工。

CMP設備用於實現銅互連工藝，也是很重要的設備。

中電科電子裝備研發出了國內首台自主知識產權的8英寸CMP設備，目前進入中芯國際（天津）生產線考核驗證，12英寸CMP設備樣機進入聯調階段。

此外，中電科電子裝備還是國內最大的濕法工藝設備供應商。

在後道的先進封裝領域，也取得了不錯的成績，減薄、劃片、倒裝、鍵合等設備國內領先，在國際上也算先進。

可以提供整套的封裝設備，目前有2萬多台（套）設備導入長電科技（600584）、通富微電（002156）、華天科技（002185）、晶方科技（603005）等國內封測大廠。

二、北方華創（002371）

這是目前A股上的半導體設備龍頭，明星股，君臨也介紹過。

2001年，北京電控先後設立了七星電子和北方微電子兩家企業。

七星電子主營電子元器件、氧化/擴散爐、高溫爐等設備；北方微電子主要生產等離子體刻蝕、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等設備。

2010年3月，七星電子上市；2016年8月，七星電子與北方微電子合併，並引進大基金（第三大股東）；

後改名北方華創，成為國內最大的半導體設備公司。

2018年1月，北方華創收購美國清洗機公司公司Akrion，進一步增強實力。

北方華創的半導體設備業務主要集中在子公司北京北方華創微電子裝備有限公司名下。

主要產品包括刻蝕機、PVD/CVD設備、氧化/擴散設備、清洗設備、氣體質量流量計等。

這些設備除了應用在集成電路，在泛半導體領域的微機電系統、功率半導體、先進封裝、半導體照明、化合物半導體、新能源光伏、平板顯示等領域也可以用到。

北方華創最能代表自身實力的產品是等離子硅刻蝕機和PVD設備。

刻蝕機是晶元製造設備中僅次於光刻機的第二重要設備。

光刻，用比較形象的描述就是把電路圖印在晶圓上，而刻蝕則是把光刻機印好的圖案刻在晶圓上，是利用化學途徑選擇性地移除沉積層特定部分。

刻蝕主要分為介質、多晶及金屬刻蝕等幾種。

目前比較流行的是介質刻蝕，對應的介質刻蝕機也更流行，佔比超過50%，但不能說介質刻蝕機就更先進，更多的是應用場景的差別。

北方華創研製的國內首台14nm的等離子硅刻蝕機和8英寸高密度等離子硅刻蝕機已進入中芯國際；55nm的硅刻蝕機成為目前國內主要晶圓代工廠重點採購的產品，在該製程上是國內第一大刻蝕機供應商。

28nm製程的Hardmask PVD，成為中芯國際Baseline設備，這是國產PVD設備的最高水平。

單片清洗機、立式氧化爐、28/40nm單片退火系統等設備也都批量進入中芯國際、華虹宏力、長江存儲等廠家。

而12英寸65/55nm清洗機也有超過100萬片的單機累計流片量。

北方華創微電子和中芯國際北京分公司緊挨著，兩家公司一個製造設備、一個提出需求、驗證設備、採購設備，共同促進，都處在高速發展中。

中國三大存儲晶元業務，長江存儲、合肥長鑫、福建晉華都是北方華創的客戶，雖然福建晉華很有可能就此夭折，但是剩餘兩家其實規模更大，加上中芯國際、華虹宏力（01347.HK）等廠家，北方華創的市場還很廣闊。

今年上半年，北方華創的半導體設備收入增長37.78%，勢頭迅猛。

但是我們也要注意，目前北方華創和同為國家隊的中電科電子裝備一樣，更多的設備是應用在泛半導體領域，這類設備的科技含量要小於晶元設備。

另外，其電子元器件的利潤佔比也很高，2017年更是主要依靠電子元器件才能盈利。

三、中微半導體

跟中電科電子裝備和北方華創相比，這家公司的規模和設備種類有所不及，但是論先進程度和國際知名度要超過前兩者。

中微半導體的創始人是尹志堯博士，連續三代海歸，曾在前文提到過的世界最大半導體設備廠家應用材料公司擔任副總裁，是「矽谷最有成就的華人」。

連中國半導體之父張汝京博士都自稱是尹博士的晚輩。

在回國前，尹博士問張博士：如果我回國做設備，你買不買？

張博士答：肯定買！

於是在2004年，在距離中芯國際總部7公里的地方，尹志堯帶著他的華人團隊，不帶任何一份國外文件，完全靠無比紮實的技術功底建立起了中微半導體。

中微半導體可謂國產半導體設備之光。

主打產品是刻蝕機和MOCVD設備，在介質刻蝕機、硅通孔刻蝕機、MOCVD設備領域都是全球前三。

介質刻蝕機已經進入台積電7nm、10nm量產線，中芯國際50%以上新增採購額也都給了中微半導體。

12月中旬的最新消息顯示，5nm刻蝕機已經通過台積電驗證，將進入台積電的全球首條5nm生產線。

硅通孔刻蝕設備在我國TSV/CIS/MEMS刻蝕機市場市佔率超過50%，MEMS刻蝕機還進入博世和意法半導體。

中微半導體的刻蝕機已經在全球不同廠家的25條晶元生產線上運作，累計生產4300多萬片晶圓，僅在台積電7nm、10nm量產線就已經累計生產2400萬片晶圓。

中微半導體還是MOCVD領域的世界第一梯隊廠家。MOCVD可以說是LED晶元領域的最重要設備。

中微的MOCVD設備在國內藍光LED市場超越原本把持市場的德國Aixtron和美國Veeco，壟斷80%的份額。

三安光電（600703）、華燦光電（300323）都是其重要客戶。

在刻蝕機和MOCVD領域，中微半導體強行把中國拉升到了國際先進水平。

真大腿！

中微半導體出名以來，總有美帝的企業來告他侵權，但中微半導體從！沒！有！輸！過！官！司！

在北方華創和中微半導體的努力下，國產刻蝕機的市場份額從零，到了現在的6%，如今已經進入先進位程領域，不是沒有逆襲的可能。

當然，我們也得承認，設備是有了，但是很多零部件還是別人的。

如果美帝就是要限制關鍵零部件供應，中微半導體也扛不住。

四、長川科技（300604）

長川科技位於杭州，是國內半導體測試設備唯一一家上市公司，其主打產品是測試機和分選機。

2008年，曾在杭州士蘭微（600460）工作10年、並擔任生產總監的趙軼帶著一幫士蘭微的骨幹創立了長川科技。

創立伊始，長川科技與老東家交惡，受到打壓，又遇到金融危機以及半導體產業的低潮，但仍堅強地活了下來。

後來，長川的產品進入長電科技、華天科技、通富微電、華潤微電子、日月光等封測大廠，這幾家公司的訂單常年佔據長川科技80%左右的訂單。

長川科技今年有望超過2億的收入，但技術和規模跟國外的差距依舊很大，市場佔有率也非常小。

不過作為國內龍頭和稀缺標的，長川接連獲得了知名投資機構矽谷天堂以及大基金的加持。

12月13日還發布公告，準備收購大基金、天堂矽谷以及上海裝備持有的長新投資90%的股份，後者的核心資產為新加坡集成電路封裝檢測設備製造公司STI。

STI的2D/3D高精度光學檢測技術（AOI）全球領先，它的AOI光學自動檢測設備是半導體領域重要的檢測工具和過程質量控制工具。

客戶包括德州儀器、美光、意法半導體、三星、日月光、安靠等世界一流的半導體製造以及封測廠家。

長川科技和STI業務可以相互協同，客戶也有重疊。

今年前三季度，長川科技收入暴漲73.86%，增幅在半導體設備板塊第一，STI的業績總體還要優於長川科技，未來這對組合的潛力非常大。

而一旦收購成功，大基金也將成為長川科技的第二大股東。

五、晶盛機電（300316）

晶盛機電位於浙江紹興，其主業是為太陽能行業生產晶體生長爐，同時生產半導體領域的單晶硅拉晶爐、單晶硅切斷機、滾磨機等設備。

長期以來，國內大部分廠家只能生產太陽能單晶爐，在半導體單晶爐方面，只有個別廠商在6-8英寸實現了突破，晶盛機電是最早實現突破的。

2007 年4 月，晶盛機電研製出了國內首台全自動直拉式單晶硅生長爐，並賣給了有研新材（600206）；

2008 年3 月，又研製出國內規格最大的全自動直拉式單晶硅生長爐，同樣賣給了有研新材。

這兩次突破讓晶盛機電名聲大振。

晶盛機電和南京晶能是目前國內唯二能生產12英寸單晶爐的廠家，但技術還欠火候。

兩家公司的設備都已經進入上海新昇，可是效果非常差，幾乎是在拖上海新昇的後腿。

不過晶盛機電還留有後手，它和另一家國內知名半導體材料企業中環股份(002129)合作了大矽片項目。

今年7月，晶盛機電中標了合作項目的設備採購。中標金額4.03億，其中單晶爐3.6億、切斷機與滾磨機0.42億。

這一筆訂單就相當於今年前三季度的21%。預計今年至少比去年收入提高40%。

這筆訂單也表明，晶盛機電和中環股份的大矽片項目有了進展。如果未來能夠和上海新昇一樣實現突破，對晶盛機電將是重大利好。

六、盛美半導體（ACMR .Nasdaq）

盛美半導體主營晶圓清洗設備，是中國唯一一家在美國上市的半導體設備公司，也是納斯達克15年來第一家上市的半導體設備公司。

盛美半導體的前身是1998年在矽谷成立的ACM Research，創始人是清華校友、美籍華人王暉博士。

2005年，盛美落戶於上海張江，與中芯國際、華虹宏力約3公里的距離。

後來獲得了上海創投、浦東科股、張江創投等官方資本的投資，成為一家中外合資公司。在盛美最艱難的時刻，正是這些官方資本幫它挺了過來。

清洗貫穿整個晶元加工的過程，是非常重要的步驟，如何保證清洗過程能去除小顆粒而不傷害電路是重點，也是難點。

盛美研發出了兆聲波清洗（SAPS）技術、和時序氣穴震蕩兆聲波清洗（TEBO）技術等多項技術，達到國際先進水平。

他的第一個客戶是國際內存大廠SK海力士，一鳴驚人。

盛美髮展很快，但總體還是小公司。

日本廠商screen的全球市佔率超過50%，盛美在國內的市佔率不過0.8%。

這類設備相對更新換代較慢，往往一款設備可以使用10年，對於老設備的替換，一時半會很難。

所以盛美的主戰場在中國，中國將成為未來世界上新建生產線最多的國家。

目前盛美的產品已經進入中芯國際、華虹宏力、長江存儲、上海集成電路研究中心、SK海力士、福建晉華等企業。

北方華創和至純科技（603690）也有清洗設備的業務，但這不是他們的主打產品，而且清洗設備的側重點和盛美也有不同。

當然，影響力也不及盛美。

盛美半導體專註於做單晶圓清洗設備，北方華創和至純科技類似，提供濕式工作平台，主要產品為單晶圓清洗設備和自動清洗台，應用於成膜前後、拋光、刻蝕等多個環節的清洗工藝中。

簡單點說，北方華創和至純科技的產品更全，盛美的產品更精、更先進。

今年10月，盛美在上海浦東川沙鎮新建了亞太研發中心，預計將每年增加產能17億元，總產能增至25億元。

盛美今年收入將達到7000萬美元左右，創成立以來的新高。

交易美股的君友可以保持關注。

七、上海微電子裝備(集團)股份有限公司

跟很多半導體公司一樣，上海微電子也坐落於張江，對面是日月光以及旗下的環旭電子（601231）。

上海微電子是被「吹噓」次數最多的公司之一。

上海微電子是為了光刻機而生，也許是光刻機太重要了，咱們中國人太希望能把這個東西做好了，所以總有人有意無意誇大上海微電子的技術實力。

光刻機分前道光刻機和後道光刻機。

前道光刻機就是我們平時說的用來刻電路圖的光刻機，後道光刻機用於封裝。

就關鍵的前道光刻機而言，上海微電子目前能拿出的最先進的設備是90nm製程的機器，而且是應用於8英寸的晶圓。

技術需要一點點去迭代，從2002年創立至今16年了，上海微電子的前道光刻機交出了如上的答卷。

我們無法預期國產的先進位程的光刻機何時能夠到來。

上海微電子真正的主打產品是後道光刻機，處在國內領先地位，早已是長電科技、日月光、通富微電等封測廠的重要供應商。

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除了以上公司，中國還有一些相對優秀的公司，比如主營CMP（化學機械拋光）的天津華海清科、主營薄膜設備的瀋陽拓荊、主營量測設備的上海睿勵等。

他們短期內不可能抗衡巨頭，但是相比較於貧瘠的過去，已經取得了進步。

目前在28nm的水平上，國內市場的的國產設備總覆蓋率約17%-18%，市場預計，如果能達到20%，那麼未來三年將會分別帶來251億元、236億元和113億元的國產設備市場空間。

這足夠值得本土公司們去奮鬥了。

讀到這裡，也許你會想，「這家公司我能投嗎」？

這不是一個拍拍腦袋就能輕易做出的決定，因為除了基本面的機會分析，還需要對財務風險、業績確定性、業務競爭格局等進行更深入的考察。

更多信息可關注「君臨」獲取。

作者：君臨團隊.

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