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國產廠商進軍7nm、5nm半導體製造裝備市場,投21億研發

在半導體領域,大部分人關注的都是nm工藝、存儲晶元、光刻機等「明星」,不過就國內半導體產業的整體而言,除了先進工藝的缺失,國內在半導體製造裝備上也嚴重依賴國外廠商,儘管中國已經是全球第二大半導體裝備市場,但在這個領域中美國應用材料、KLA科磊半導體是全球領先的廠商,國內半導體廠商還離不開這些廠商。國產半導體裝備廠商中北方華創近年來發展不錯,已經能夠提供28nm工藝製造裝備了。該公司今天發布了2018年年報,營收33.2億元,同比增長50%,凈利潤同比增長86%。此外,該公司還宣布募資21億元,主要用於下一代半導體製造裝備研發,重點是7nm、5nm工藝的半導體製造裝備。

我們之前在《沙子做的CPU,憑什麼賣那麼貴?》的超能課堂文章中詳細介紹過半導體晶元的製造過程,其中光刻是最重要的,決定了晶元的製程工藝,成本也是最高的一個環節,能佔到製造成本的1/3左右。不過在光刻之外,半導體製造還有其他複雜的處理過程,包括蝕刻、清洗、離子注入、研磨等,北方華創生產的設備涉及蝕刻機、PVD物理氣相沉積、CVD化學氣相沉積、薄膜設備、清洗設備等等。

根據官方介紹,北方華創主要從事基礎電子產品的研發、生產、銷售和技術服務,主要產品為電子工藝裝備和電子元器件,是國內主流高端電子工藝裝備供應商,也是重要的高精密、高可靠電子元器件生產基地。

電子工藝裝備主要產品包括半導體裝備、真空裝備和鋰電裝備三大業務領域產品,廣泛應用於集成電路、半導體照明、功率器件、微機電系統、先進封裝、光伏材料及電池、平板顯示、真空電子、新材料、鋰離子電池等領域。

電子元器件主要產品包括電阻、電容、晶體器件、微波組件、模塊電源、混合集成電路等高精密電子元器件,廣泛應用於精密儀器儀錶、自動控制等高、精、尖特種行業領域。

今天北方華創發布了2018年年報,全年實現營收33.24億元,同比增長49.53%,歸母凈利2.34億元,同比增長86.05%;扣非歸母凈利0.76億元,同比增長136.77%。目前電子工藝裝備成為北方華創的營收主力,2018年營收25.21億元,同比增長了75.7%,佔比達到了75%以上。

在技術水平上,在集成電路領域已形成28納米設備供貨能力,14納米工藝設備進入客戶工藝驗證階段,12吋刻蝕機、PVD、ALD、單片退火系統以及LPCVD設備進入集成電路主流代工廠。

此外,北方華創今年初還通過大基金等渠道募集資金21億元,主要用於新一代半導體裝備研發,主要建造集成電路裝備創新中心樓及購置5/7nm關鍵測試設備和搭建測試驗證平台,開展5/7nm關鍵集成電路裝備的研發並實現產業化應用,預計能實現年產刻蝕設備30台、 PVD裝備30台、單片退火裝備15台、 ALD 裝備30台、立式爐裝備30台、清洗裝備30台;高精密電子元器件產業化擴產預計總投資24196萬元,主要實現年產模塊電源 5.8萬台的能力。


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