「北京科華微電子」完成1.7億元投資 沃衍資本等機構投資

鉛筆道獲悉，近日，國內光刻膠企業—北京科華微電子材料有限公司完成1.7億元的融資。本輪由沃衍資本、江蘇盛世投資、紫荊資本、深圳市投控通產新材料創業投資企業、四川潤資、北京高盟新材料等投資機構投資。

北京科華微電子材料有限公司（以下簡稱科華微電子）成立於2004年8月，是集光刻膠研發、生產、檢測、銷售於一體的中外合資企業，也是國內唯一一家擁有高檔光刻膠自主研發及生產實力的國家級高新技術企業。2017年獲得SEMI全球光刻膠企業前十；2018年獲批「光刻膠國家地方聯和工程研究中心」 ；並建有北京市發改委命名的「光刻膠北京市工程實驗室」。

科華微電子在光刻膠領域具有豐富的實踐經驗和理論經驗，完成了紫外正性光刻膠、集成電路用高分辨G線正膠、I線正膠、KrF-248nm深紫外光刻膠的產線建設和量產出貨，是集先進光刻膠產品研、產、銷為一體的擁有自主知識產權的行業標杆企業，特別是KrF-248nm光刻膠代表了國內目前最先進的光刻膠研發與生產水平。

此外，科華微電子是中芯國際、華潤上華、杭州士蘭微、吉林華微電子、三安光電、華燦光電、德豪光電等行業客戶的穩定合作夥伴。

在設備配置方面，科華微電子擁有KrF-248nm光刻膠分析測試及應用測試平台、I線光刻膠應用實驗室、Hitachi SEM掃描電鏡、TEL塗膠顯影一體機等設備，可以對KrF-248nm光刻膠、G/I線光刻膠等所有產品進行全面的應用檢測評估。值得一提的是，科華微電子是目前國內唯一擁有荷蘭ASML曝光機的光刻膠公司，其最小解析度可達0.11um。通過與客戶晶圓廠同樣的檢測設備配置，實現了上下游產品檢測的無縫對接。

該公司成立至今承接了國家02科技重大專項、國家「163」重大科技項目、國防科工委「十一五」重點科技項目、國家發改委產業化示範工程項目以及北京市科委重點計劃項目、北京市工業促進局工業發展資金項目等國家級、北京市級重大課題，實現了G線正膠、I線正膠、KrF-248nm深紫外光刻膠的產業化。

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