三星EUV晶元工藝狂刷版本號:6LPP、5LPE、4LPE依次推出
現在已經有晶元代工廠的光刻工藝進化到7nm EUV工藝了,同時不久後就會有晶元採用7nm EUV工藝製造。此前台積電已經公布了他們的EUV時代光刻工藝,現在三星也公布了他們的EUV工藝規劃,比較有意思的是,三星未來工藝的迭代是6LPP、 5LPE、以及4LPE。
圖片來源:三星
根據Anandtech的報道,三星現在規劃的工藝都是作為更新迭代版本。在去年三星就開始採用7nm LPP EUV工藝生產晶元,到今年4月份已開始進行大規模生產。而目前的的消息稱已經有幾家晶元設計公司與三星進行合作。
7nm LPP是三星第一代EUV工藝,而到今年晚些時候,三星會推出6LPP工藝作為7nm LPP工藝的更新迭代版本。作為優化版本,6LPP工藝提供更高的晶體管密度(大約10%),以及更低的功耗。而且晶元設計公司不需要重新設計IP即可使用,大大降低了廠商流片的成本。此外,三星還推出了6LPP智能結構,只不過採用這種結構需要重新設計新IP進行流片。作為更新迭代版本,6LPP也添加了擴散中斷等新技術。
在6LPP之後三星會推出5LPE工藝,相比6LPP工藝,其在功耗、性能和面積方面都要更優秀。而且也可以重用原始設計的IP。三星規劃將在今年下半年推出5LPE的首批晶元,預計將在2020年上半年大規模生產。同時三星也因5LPE工藝可以為包括高性能計算、移動晶元的多方面應用提供眾多優勢,而成為2020年的主要的EUV工藝節點,同時產量也會更高。而且三星也會在華城興建更多的EUV生產線來滿足未來6LPP及5LPE工藝的需要。
三星還規划了7LPP工藝的終極迭代版本4LPE工藝,三星將在今年下半年完成開發,預計在2020年製造首批晶元,大規模生產應該會在2021年。
雖然三星在EUV工藝時代顯得比較激進,但並沒有完全放棄14nm、10nm等工藝節點,未來三星會通過優化或與先進工藝進行組合,以滿足對特定應用的需求。在三星的季度報告中,對於未來,三星也稱希望通過先進工藝來增強其半導體製造的競爭力。


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