中芯國際唯一的極紫外光刻機跳票，國產高端晶元恐被荷蘭拖後腿

即使是有來自美國四面八方的刁難，中國芯的進程仍是排除萬難地朝前邁進，日前台積電頂住了來自美方的壓力，持續為華為代工，Arm 也強調會繼續提供華為新一代 V9 架構技術，然而，日前又有一道挑戰關卡從天而降。

外媒披露，歐洲最大設備商，同時也是全球光刻機龍頭荷商 ASML 因為出口許可（export license）尚未獲得荷蘭政府的核准和發放，導致關鍵機台極紫外光刻機（EUV）無法如期交貨給中國客戶。

ASML 強調是一視同仁對待全球客戶，但此問題卡在法律程序上，目前尚在等待出口許可的核准。

(圖：ASML 官網)

晶元製造的命脈：光刻機

ASML 是全球唯一可以供應 EUV 光刻機的半導體設備大商，EUV 光刻機主要是用在 7nm 以下工藝，一台要價一億歐元，ASML 一年也頂多生產約 20 台，客戶若有需求，要提前 1~2 年來預訂，而目前台積電與三星都已經導入 EUV 光刻機來實現 7nm 工藝晶元的量產。

因為 EUV 光刻機牽涉到全球最高端工藝晶元技術的生產，ASML 在向中國出口這類設備之前，需要拿到政府發放的出口執照和核准。

ASML 針對 EUV 這類設備機台的出口執照，需要定期更新和延長，公司在 2019 年 7 月之前，已提前提出申請，但出口執照一直未發放下來，因此被動地無法將 EUV 機台出貨給中國客戶，但 ASML 強調，無法透露客戶下單和交貨的具體時程。

（圖：DeepTech）

中芯的高端技術布局是否受影響？

EUV 光刻機是否可如期交貨，牽涉到中芯國際在高端工藝技術的布局與時程。

中芯國際在投資人會議上已經披露高端技術的「三支箭」，分別為 14nm FinFET 工藝技術進入風險試產、12nm 工藝技術有客戶進行流片，以及對於第二代 FinFET 技術 N 1 工藝的布局。

業內認為，中芯在 14nm 和12nm工藝節點上還用不到 EUV，2018 年下單預定 EUV光刻機是為了 N 1 工藝做準備，一般來說，這個工藝節點應該是 7nm 左右，但中芯並未披露第二代的 FinFET 技術是否定義在 7nm，也有可能是 8nm，但這都只是命名問題了。

半導體的微縮路線過去遵循摩爾定律，每一代工藝線寬會較上一代縮小 0.7 倍，因此從 90nm、65nm、45nm、32nm 都是遵循此定律的邏輯，但這樣的步伐在 20nm 以下打破，摩爾定律放緩後，線寬微縮也無法像以前一樣，台積電和三星開始分裂為 16nm 和 14nm，之後的工藝命名已經淪為宣傳和營銷戰。

中芯在高端工藝上是猛烈追趕，一方面肩負國內高端製造的使命，另一方面，其競爭對手已經「打到家門口」，台積電在南京設立的 12 寸廠可以生產 16nm 和 12nm 技術，使得中芯必須更積極投入在高端技術的研發上。

美方施壓，也成為供應鏈的擔憂

美國自 2018 年以來，針對中國一些關鍵企業和技術不斷祭出禁令。

2018 年 4 月，中興通訊被禁止採購美國的零組件和軟體，緊接著 11 月，國內 DRAM 廠商福建晉華被美國一紙禁令掐熄了正要進入生產的 DRAM 晶元火苗。

到了 2019 年 5 月，美國把目標瞄準 5G 技術超前的華為，限制美國零組件供應商、 Google、Arm 等暫停對華為提供技術。

一直維持對華為代工晶元的台積電，雖然挺下來了，但之後是紛擾不斷，包括台積電可能礙於美方壓力下，快速與競爭對手 GlobalFoundries 達成十年專利互相授權的和解官司。

（圖：DeepTech）

近期，美國不斷釋放出希望台積電到美國設廠的信息，因為很多國防用晶元過去是 IBM 生產，現在 GlobalFoundries 接手 IBM 資產後，無法繼續 7nm 以下到高端技術，美國以國防安全為由，一直要台積電赴美設廠。

台積電知道這場「邀約」的兩難和敏感之處，赴美設立晶圓廠是不符合成本考量的，加上台積電善於管理集中生產，不擅遠端管理，自然不會想去。

但是，未來若持續幫華為代工晶元，來自美方的壓力勢必不會間斷，雖然台積電暫時以成本為由拒絕「邀約」，但業內人士觀察，未來台積電赴美設廠的機率仍是有的，畢竟這是一個對當前局勢的妥協之道，無法從商業利益來衡量。

設備和材料被卡住脖子

在美國對華為下重手之後，業內非常擔心半導體機台設備和材料，會成為下一個被制裁的環節。

即使國內已有中微半導體、北方華創等設備供應商，但半導體機台和材料的精密和專業分工的程度，短時間內不可能達成 100% 國產化目標，尤其是 EUV 光刻機，全球居然只剩下 ASML 一家有能力生產。

這次 ASML 無奈又被迫地無法如期出貨 EUV 機台給中芯，關鍵是在荷蘭政府的出口批准上， 究竟當中的考慮為何？是礙於美國「暗中出手」，還是另有隱情？業內都在探尋。

如果 ASML 的 EUV 機台一直無法獲得進入中國的批准和審核，這恐怕是繼華為禁令之後，國內科技產業的另一波「巨浪」來襲。

如果連歐洲設備商的商業行為都受到政治干預，那未來美商、日商等設備大廠是否也會面臨同樣的狀況。

然而，日前美國商務部長才釋出中美可望在 11 月達成第一階段的貿易協議，並且預計「很短期內」將發出美國企業出售零組件給華為的出口許可，看似雙方關係將進入好的方向發展。

但同時，美國又不斷找台積電「喝咖啡」力邀赴美設廠，而台積電的製造力挺，恰巧是華為的關鍵命脈。

另一方面又發生 ASML 的關鍵 EUV 機台無法進入中國的問題，這又緊系著中芯國際的高端工藝技術發展進程，這讓人對於當前的局勢有著霧裡看花，既期待緊張關係鬆綁，但又怕預期落空的矛盾心情。

-End-

喜歡這篇文章嗎？立刻分享出去讓更多人知道吧！