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晶元破壁者:半導體「硅」鋪就的文明階梯


文 | 腦極體

在歷史學家湯因比眼中,人類社會發展的規律即「挑戰和應戰」,文明即是在「挑戰和應戰」這對矛盾中誕生和延續的。應戰成功,文明可以繼續向前發展,反之則會導致文明的流產。

在半導體不算漫長的歷史進程中,出現過無數個這樣的「挑戰與應戰」。它們大部分時候,是由某一個企業或國家,施與另一個競爭對手的。

那些被狙擊的產業體系,就如同被三體人派出的「智子」鎖死了一樣,再也無法實現科技升級,進而失去了向前發展的可能性。

所以,當我們探討如何走出半導體產業封鎖的囚籠,突破一個個「智子」的封鎖就變成了核心要務。

其中一個非常重要的「智子」,叫做——「硅」。

作為世界的創新中心,矽谷不僅擁有仙童、英特爾、谷歌等等明星企業和富可敵國的資本,更影響了全人類的生活方式與文明進程。

從西部「淘金地」,再到「點石成金」的「矽谷」,這個普通的舊金山南方小城,用不到百年的時間與「硅」結下不解之緣?又為何在成為高科技之都後,失去了對「硅」材料的統治權?

帶著這些問題,我們一起踏上今天的陽光加州之旅。

從矽谷到東京:硅的三個瞬間

歷史的許多重大轉折,往往源於微末處的機緣巧合。少有人會想到,以硅砂為原料的半導體行業興起,是源於一個兒子想要「逃離北上廣」回鄉的願望。

1956年,因為母親年事已高,肖克利辭去了貝爾實驗室的工作,回到了故鄉——加州的聖克拉拉谷,也就是後來的矽谷。

在此之前,舊金山灣區最為人熟知的礦藏是金子。而肖克利的到來,為這裡開啟了第二次「Gold rush」淘金熱,資本和人才瘋狂湧入的目標,則是新時代白色的金子——半導體硅(Si)。

在肖克利之前,關於半導體材料的研究已經持續了上百年。人們發現,許多元素和化合物具有半導體性質,在常溫之下的導電性能處於導體與絕緣體之間。

因為導電性可控,半導體非常適合用來製作電子元器件。

比如1874年,卡爾·費迪南德·布勞恩發明了第一個半導體器件——晶體探測器。1906年,美國工程師格林利夫·惠蒂爾·皮卡德則開發出了一種硅射電晶體探測器,這也是第一個硅半導體器件。1941年,第二次世界大戰期間,高純度鍺和硅晶體也開始被應用在雷達微波探測器上。

理論上,所有半導體都可以用來製造現代生活不可或缺的晶元,為什麼漫長的變革之後,只有硅脫穎而出,成為集成電路的基礎,也成功晉陞為最具商業價值的材料呢?

其實一開始,硅並不是集成電路的第一選擇,它的崛起歷經了一個漫長的時期。

為了不陷入細枝末節的「故紙堆」,我們為這趟時光旅行設置了三個坐標:

坐標一:1956年,加州,晴,宜除舊從新

「矽谷」(Silicon Valley)一詞首次出現在出版物上,是一位名為唐·霍夫勒 (Don Hoefler) 的記者。1971年1月11日,他在為周刊 《電子新聞》撰寫報道時,將一批電子企業尤其是半導體公司在聖塔克拉拉縣蓬勃興起的景況,定題為《美國矽谷》。

而所有故事的開頭,都會「倒帶」回1956年6月,肖克利離開貝爾實驗室回到老家,創辦肖克利半導體實驗室有限公司的那一天。

弔詭的是,讓肖克利聲名鵲起、收穫了諾貝爾物理獎的——世界上第一個晶體管,卻跟硅毫無關係,它是由鍺製造的。

一個小小的金屬箭頭,插在一塊平板鍺上,一問世就把真空管送進了墳墓。隨後,貝爾實驗室對外授權晶體管專利,直接帶動了鍺的流行。直到1950年代末,鍺都是晶體管和其他半導體器件的主要材料。

世界上第一個晶體管

在這樣的背景下,肖克利出走創業,要做硅晶體管的消息,就顯得十分匪夷所思的。畢竟在他離開貝爾實驗室的時候,他並沒能如預想的那樣,製造出一個利用硅製成的場效應放大器裝置。

沒有這位「矽谷」第一公民的堅持,今天的半導體行業必定是另一番景況。

之所以堅持要用硅替代鍺來做晶體管,一是考慮到成本。鍺是一種稀有元素,在地殼中的含量少,礦藏還分布分散,導致價格高昂,難以大規模生產。而硅作為地殼中第二豐富的元素,在成本上很佔優勢。

二來,當時晶體管最大的客戶是美國政府和軍方,他們希望將晶元運用在火箭和導彈上,這就需要晶體管能夠耐高溫、抗劇烈震動,在200℃也能穩定運行。但鍺晶體管的耐受溫度只有80℃,顯然不符合要求。只有硅有這個潛力。

第三,當時高純硅的工業提煉技術已經成熟,而鍺則很難提煉到足夠的純度,這就導致晶體管性能低下。

硅晶體管的商業價值,還是更高性能的發明,少有人能抗拒這樣「名利雙收」的誘惑,肖克利的出走也就成了必然。

光環加身的肖克利,很快吸引了諸多工程師慕名加入,其中就包括硅晶體管先驅金·赫爾尼Jean Hoerni。

坐標二:1959年,查爾斯頓路,雷陣雨,宜自立門戶

有意思的是,儘管肖克利最先奠定了硅晶體管的發展方向,但他的實驗室卻一個硅晶體管也沒能生產出來。

真正讓硅晶體走入市場的是另一家公司——仙童半導體(Fairchild Semiconductor)。

1957年底,八個年輕人受不了肖克利的臭脾氣,集體辭職,在矽谷租了一間小房子,成立了仙童。肖克利暴跳如雷,大罵他們是「八個叛徒」。

次年,擁有兩個博士學位的金·赫爾尼,用被他稱作「大學水平」的物理知識,發明了一種平面工藝技術(planar technology),來使用硅製造晶體管。

後來,這項技術被評定為「20世紀意義最重大的成就之一」,並奠定了硅作為電子產業中關鍵材料的地位。

成立仙童的八叛徒

到底是一種什麼技術呢?

此前,大部分電路都是靠人工,將單個的晶體管、電阻器、電容器和二極體連接在電路板上的。

赫爾尼則提出了一種光學蝕刻的處理方法,可以在矽片平面上將集成電路生產出來。

方法和現在的晶元製造邏輯類似,先手工畫出布局圖,然後做成透光片,在光滑的矽片上塗上感光材料,用紫外線/激光投射上去,黑暗區域和線條就會留在矽片上,再用酸液清洗,重複幾次,就可以硅晶圓上得到大批晶體管。

這種平面處理工藝,將原本複雜的高台式晶體管製造變得十分簡單高效。如果原來是搭樂高積木,現在就是複印機列印。

1959年,赫爾尼跟諾伊斯開會的時候,提交了這個工藝的最新版本。一次性製作集成電路的時代開始了。

(赫爾尼)

1961年,仙童發布了首款硅集成電路,一共容納了4個晶體管。到1965年的時候,帶有64個元件的晶元就在路上了。

隨著擴散型硅晶體管的大量上市,仙童成功「路徑正確」打敗「鍺集成電路」,躍升為跟德州儀器同台競技的半導體新貴。

坐標三:1980年,日本東京,颱風,宜搶佔先機

肖克利與仙童,催生了矽谷的半導體產業。然而今天全球前五大硅晶圓供貨商中,前五名分別是日本信越化學、SUMCO(三菱住友株式會社)、中國台灣環球晶圓、德國世創(Siltronic)和韓國LG。

它們佔據了全球90%以上的矽片供應,沒有一家是美國的企業。

這種切割和產業輪替是怎樣發生的?

一條不那麼精確的時間分割線,出現在了1980年代。

在此之前,美國廠商是毫無疑問的半導體材料領軍者。

其中,英特爾是當之無愧的航標。

由於看到了半導體計算機存儲器的商業潛力,戈登·摩爾和羅伯特·諾伊斯從仙童出走,創辦了英特爾公司。

通過力推硅晶元,英特爾先後打敗了競爭對手摩托羅拉、德州儀器、IBM等,成為半導體存儲(DRAM)領域的霸主。硅晶元等於半導體晶元的產業地位,也就此塵埃落定。

在英特爾大舉進步的同時,也有不少企業在虎視眈眈。

20世紀50年代開始,新興的電子產業(尤其是硅晶體管)就吸引了美國其他企業以及海外同行的注意。

孟山都的兩家研究實驗室(聖路易斯和俄亥俄州代頓),都開始研究硅材料。1959年,孟山都MEMC的ST·PETERS工廠開工建設,生產晶體管和整流器材料「超純硅」,並先後解決了許多技術難題。比如第一個在矽片清洗過程中使用臭氧,採用化學機械拋光等等。而伴隨著英特爾等一批「前輩」開始向微處理器CPU轉型,矽片製造的買賣就開始被孟山都壟斷。

到了1979年的時候,孟山都成為全球硅晶片供應商的龍頭,其業務佔據了美國80%的FZ單晶。

而與孟山都同時開始切入硅晶圓市場的,還有日本廠商。

50年代末,日本先後成立了小松電子金屬、信越半導體、東洋硅等公司,開始了技術引進。

儘管技術落後於美國,但也憑藉低廉的成本和價格搶佔了不少市場份額。

偏偏日本不甘於一直做替代品,1971年,日本通產省制定了趕超美國半導體產業計劃,1976 年成立「超大規模集成電路技術研究組織」,NEC、富士通、日立、東芝、松下等廠商都有投資,試圖技術反超。

(關於日美半導體戰爭的報道)

當追隨者開始進入競爭者象限,一切就都變了。美日之間的貿易摩擦,自然而然輪到了半導體行業。

1977年開始,雙方不斷地談判、簽訂協議,直到1996年才基本宣告結束。而在整個過程中,日本的技術突破順利完成,在存儲領域,日本開始與美國並駕齊驅。

技術的持續進步,加上80年代美國經濟衰退,日本企業的效率優勢進一步放大。到了2000年的時候,儘管以孟山都為代表的美國廠商仍然在技術上佔據優勢,但產業話語權已經移交到日系硅晶圓廠手中。

美日簽訂半導體協議

2005年,日本信越佔全球300mm晶圓的50%市場份額,日系廠商則佔據了全球65%的市場份額,而北美和歐洲僅僅各佔15%左右。

除了核心的硅晶圓,國際半導體產業協會(SEMI)的數據顯示,在光刻膠、鍵合引線、模壓樹脂以及引線框架等重要的半導體製造材料上,日本也處於絕對的領導位置。

直到今天,儘管日本企業在消費半導體領域已經優勢不再,但在半導體材料方面,卻佔據著主動權。

2019年7月1日,當日本經濟產業部宣布加強對韓國的半導體材料出口管制時,三星電子、SK海力士等韓國半導體企業立即拉響了警報,也讓關於半導體材料的「卡脖子」風險,進入了草木皆兵的國人眼帘。

打開「智子」封鎖,誰是半導體材料的破壁人

縱觀以硅為基礎的半導體材料發展歷史,從美國矽谷到日本東京的技術與產業變遷,也映射著一個另類的半導體宇宙:鎖住產業發展進階的「智子」,究竟有哪些?

如果非要總結出點所以然的話,有三個關鍵是必不可少的:

1. 持續創新的商業眼光。

無論是肖克利對硅晶體管的技術信仰,還是仙童與德州儀器的集成電路方向之爭,亦或是日本半導體產業冒著貿易摩擦風險下的不讓步,無不說明伴隨著外界壓力不斷進行新的技術研發,有多麼重要。

每一次技術的發展,都會帶來設備的更新需求與投資增長。

起初,美國半導體企業都認為日本製造擅長模仿,但當日本企業投入大量資金進行技術研發和產品創新時,一切都不同了。

反觀孟山都,在競爭失利後轉型進入清潔能源領域,甚至改名SunEdison,最後仍然沒能逃脫破產的命運。

一個企業乃至一個國家的技術話語權,就在這樣永不停歇的追趕中鑄成。

2.精益管理的高端製造。

日本半導體材料企業能夠崛起,與其精益求精的生產製造不無關係。

半導體產品對硅晶圓的純度要求很高,正是因為製造難度大,技術迭代快,製造設備更新頻繁,這些都要求材料企業需要有嚴苛的精益管理能力來控制成本、提升效率,從而確保盈利能力。

「錙銖必較」的高端製造,或許是半導體領域十分「重工業」的部分,也是解開商業價值必不可少的支撐。

(日本「硅島」)

3.電子產業的強勢拉動

如果1980年代,美國對日本推出「實體清單」,日本硅晶圓廠商還能佔據這一關鍵的發展時間窗口嗎?

歷史不能假設,但可以推演一番,從1960年開始,日本的NEC開始研發IC,東芝、日立也都在存儲領域爭奪市場份額。

即使美國晶元製造商做出封鎖,那麼日本的電子產業也能夠為材料廠商提供出口。

集成電路的發展對硅晶圓材料產業有著至關重要的影響,更是驅使其技術更新迭代的核心動力。

放棄了自主產權晶元產業發展的市場,半導體材料自然同氣連枝。

在人類歷史長河中,像硅這樣「點石成金」的奇蹟並不多見。

它所演繹的材料傳奇,點燃了加州的電子之光,也伴隨著半導體組件在人類社會的每一個角落閃爍著它的光輝。

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