電子級用水標準是什麼

1、 範圍

GB/T 11446.1-2013 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。

本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。

2、水質標準

3、水質檢驗1電阻率

電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。

2全硅含量（以二氧化硅計）

電子級水全硅（以二氧化硅計）含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

3微粒數

電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。

4細菌總數

電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。

5痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。

6氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。

7總有機碳含量

電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。

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