EUV光刻機有望進入中國？ASML與上海簽訂合作協議

中國是全球最大的半導體市場，但是國產化率很低，主要的晶元研發、生產、測試都要依賴國外公司，所以這幾年主管部門加大了半導體產業投入，各地投資興建晶圓廠、封裝廠已經屢見不鮮。有了政府扶植，國內公司不差錢，但是並不掌握半導體核心技術，比如光刻機這種晶元製造關鍵設備就嚴重落後於Intel、三星等公司。受制於美國等國家的封鎖，中國公司有錢也買不到先進光刻機，特別是下一代工藝中至關重要的EUV光刻機，不過EUV光刻機的生產方ASML日前宣布進軍中國，將在上海設立一個培訓中心。

光刻機是處理器製造過程中非常重要的一步

半導體製造工藝進入10nm之後，難度越來越大，目前在用的193nm光刻技術已經不足以應付未來7nm、5nm工藝需要，所以業界就在研發EUV極紫外光刻工藝。這種光刻機難度非常大，10年前就看到Intel等公司聯合研發EUV光刻機的新聞了，到現在EUV光刻機還沒有成熟，不過曙光也在眼前了，EUV光刻機已經開始少量出貨，產能也在逐步提升，TSMC、三星都會在第二代7nm節點商用EUV工藝。

全球現在能研發EUV光刻機的也就荷蘭ASML公司，為此還得到了Intel、TSMC、三星等公司大筆投資，這三家也是目前EUV光刻機最主要的客戶。根據他們發布的2016年Q4財報，EUV光刻機去年訂單就有18台，總價值超過20億歐元，換算下來一台EUV光刻機至少要1億多歐元了，接近8億人民幣。

國內公司忌憚的倒不是價格，而是EUV光刻機現在並不能出口到中國，歐美對中國的高科技出口有限制，國內的半導體公司就算是想買也買不到EUV光刻機。

不過話說回來，中國這麼大的市場，ASML公司一直錯過機會也不甘心，無論如何也都會進入中國市場。日前他們宣布與中國上海的集成電路研究開發中心（ICRD）達成了合作協議，雙方將在上海設立一個培訓中心，用於支持ASML客戶支持，同時還會對中國境內的集成電路工程師展開技術培訓。

這次合作雖然只是培訓中心，但也是一個開始，一步到位地在國內出售先進光刻機並不現實。從此前展訊公司的表態來看，美國政府部門並不限制14nm工藝進入中國，否認同級別的TSMC 16nm工藝落戶南京也不可能的。

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