蔡司sigma500電鏡的隔振方案

使用單位：中國電子科技集團公司旗下研究所

+低溫製冷技術、低溫電子技術、超導電子技術研究

儀器：ZEISS Sigma-500

+應用於高品質成像與高級分析的場發射掃描電子顯微鏡

隔振方案供應商：優尼康科技有限公司

+ 專業環境方案提供商

+ 專業研究單位服務商

+ Table Stable 主動隔振系統供應商

+實驗室的外部環境複雜。外部20米範圍內的電梯更是直接的振動輸入源。

+Sigma500內部集成了空氣彈簧，在25Hz~40Hz頻率範圍有較好的減震性。但空氣彈簧在低頻有較強的諧振，而20Hz以下的低頻振動對電鏡的清晰度影響最大，因此無法滿足要求。

+高性能主動隔振系統的諧振頻率可以低到1Hz以下，顯著地提高電鏡的清晰度。

Table Stable主動隔振技術

+主動和被動兩種隔離機制同時工作，產生最優隔振效果

+最先進的壓電陶瓷技術，高效探測傳入的振動並主動地消除振動

+無低頻共振

+在空間6個自由度都有優秀的寬頻譜衰減能力

+高剛性設計

AVI-400主動隔振系統

+模塊化設計

+具有高負載能力

+小尺寸設計

+適用各品牌電鏡

第一步：整體抬升電鏡

第二步：放置隔振系統

第三步：連接線路並調整負載

第四步：開始使用

優勢

+性價比高

+高度匹配電鏡

+小型化，適用於個性化要求

+模塊可擴展

+不增加電鏡橫向空間

+安裝調試簡便，無須國外工程師安裝

+維護費用低

+國內樣機試用及演示

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