Gigaphoton確認EUV試驗光源具有稼動率達80％以上的潛力

最新 07-06

(美國商業資訊)-- 半導體顯影光源的主要供應商Gigaphoton株式會社針對目前正在開發中的EUV雷射等離子體光源(Laser Produced Plasma，LPP)對外發表，已經確認了假想要能用於最先端半導體產線生產之試驗光源注)已經達到可實現量產之水準，稼動率(Availability)具有可達到80%以上之潛力。

Gigaphoton於今年春天使用目前正用於開發驗證中的EUV試驗光源搭載Dummy Collector Mirror並實施了為期兩星期的模擬實驗時，結果獲得了稼動率(availability)64%的成績。關於試驗光源工作狀況的詳情為，稼動與與待機時間64%，因休息日和夜間等情況導致停止之工作時間25%，其他因維護等原因導致停止之工作時間11%，假設上述假日、夜間等情況皆不停止工作持續稼動的情況下，以潛力而言，等同於可達到80%以上之稼動率。

Gigaphoton副社長兼技術長溝口計先生對此作出了如下評價：「確認此應用於最先進半導體量產線為目標的試驗光源具有稼動率達80%以上的潛力，代表距離將EUV光源投入市場又近了一步。我們將繼續以實現量產為目標，致力於開發出可實現高稼動率高可靠性的EUV光源。」

注)Gigaphoton根據對應EUV顯影量產工廠規格所設計的光源。別稱「高功率實證裝置」

*本次開發應用了國立研究開發法人「新能源?產業技術綜合開發機構(NEDO)」支援計畫的成果。

Gigaphoton公司簡介

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